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Magellan™ XHR 扫描电镜特点
• 亚纳米分辨率、1 kV - 30 kV 加速电压、的稳定性和高达 20 nA 的电子电流。
• 创新的电子光学,包括 FEI 的 单色UniColore (UC) 技术(使能散小于 0.2 eV)。
• 使用单个工具进行材料和缺陷分析,实现高生产量和“快速应答”。
• 表面灵敏高分辨率成像,低至 50 V 的着陆能量。
• 高精密、高稳定样品台,可在大分析室内进行 100 x 100 mm 样品完整表面的 超高分辨成像。
• 样品尺寸、形状、成分、制备不会互相制约。
• 包括分析和原型制造的多样应用性。
• 简单易学、易用。