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供应原子力显微镜 XE-100可以实现精确的纳米计量和无损检测。新增的多区域自动扫描功能,更是*的提高了检测效率。该系统可广泛的应用于材料科学、聚合物、电化学等诸多领域。近年来,Raman HR-800和XE-100的联合系统更是帮助VLSI开拓出了对100纳米以下硅微结构进行机械性能分析的新天地。
供应原子力显微镜 XE-100技术参数(机械部分):
1. XY扫描器:50µm×50µm(闭环),可选配100µm×100 µm(闭环)
2. Z扫描器:12µm (可选配25µm)
3. 水平度:50µm线扫描垂直偏差不超过±1nm
4. XY和Z扫描器的正交性:1.0°
5. 样品台移动范围:25mm×25mm(X/Y),27.5mm (Z)
6. 样品尺寸:100mm×100mm
7. 光学观察:垂直光路设计,可直接观察微悬臂和样品
技术参数(电子部分)
1. 微处理器:600MHz,4800MIPS DSP
2. 模数/数模:16位,500kHz采样频率
3. 图像采集:同步自动采集16幅图像,分辨率高达4096×4096像素
4. 通讯方式:采用基于TCP/IP协议的通讯方式与计算机联接
5. 符合CE认证标准