X射线光电子能谱仪AXIS ULTRA DLD
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广州佳睿科学仪器有限公司
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X射线光电子能谱仪AXIS ULTRA DLD特点 空间分辨率小于3μm• 可集成多种分析技术• 延迟线探测器(DLD)系统• 平行成像和微区谱图
X射线光电子能谱仪AXIS ULTRA DLD技术参数
●图像分辨率(边缘分辨率) 2μm左右●XPS灵敏度 大面积 11,800kcps / 110μmΦ 1,800kcps27μmΦ 100kcps / (Ag3d5/2、450W)●zui小分析直径(收谱分析) <15μmΦ
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