镀膜仪

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2022-05-24 16:00:03
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广州竞赢科学仪器有限公司

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产品简介

此款小型离子溅射镀膜仪主要用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜(金膜),仪器操作简单方便,是配合SEM 制样*的仪器。设备配有微量充气阀调节工作真空,在 20Pa 真空保护。同时,配有进气口和微量充气调节装置,以方便空气或氩气等工作气体充入。

详细介绍

此款小型离子溅射镀膜仪主要用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜(金膜),仪器操作简单方便,是配合SEM 制样*的仪器。设备配有微量充气阀调节工作真空,在 20Pa 真空保护。同时,配有进气口和微量充气调节装置,以方便空气或氩气等工作气体充入。

 

主要特点:

 

技术参数:

  1. 玻璃处理室:Φ108mm,高度135mm;
  2. 试样台尺寸:Φ40mm,可同时放6个样品杯;
  3. 金靶尺寸:Φ57mm;
  4. 真空系统:*直联旋片真空泵2L/S;
  5. 真空检测:定制皮氏计,配合真空指针表,灵敏可靠;
  6. 真空保护:20pa配有微量充气阀调节工作真空;
  7. 工作室工作媒介气体:空气或氩气,配有氩气进气口和微量充气节;
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