专业检漏仪维修保养。半导体光学镀膜设备氦检漏仪维修。提供维修保养品牌：Pfeiffer普发、Leybold莱宝、adixen阿尔卡特、Edwards爱德华、Varia瓦里安、INFICON英福康、Shimadzu岛津、Agilen安捷伦 、ULVAC爱发科等进口品牌的氦质谱检漏仪、氦质谱仪维修、保养服务。 维修流程完善，*备有原厂维修配件,为客户提供优质的服务。

氦质谱检漏仪故障处理：分子泵不工作

(1)仪器界面上TMP(分子泵的运转频率)显示“0”即分子泵没有工作。有可能是前级压力过高(该分子泵的启动压力为200Pa)导致分子泵无法启动。

检查导致压力过高的项目有：真空规管是否有问题，分子泵出口是否打开，机械泵油是否太脏或机械泵是否转动，系统是否有泄漏。也有可能是分子泵的叶片或转子被损害，可自行用工具拨动叶片，判断其能否转动。(2)分子泵加速指示灯不亮。电路板上的保险丝烧断，更换保险丝或检查是否有短路现象。

(3)分子泵故障灯亮。检查电路板设置开关是否处于R位置，此时应该在N位置。检查风扇是否停止，如风扇正常，则可能为分子泵电源故障，请与厂家联系。

质谱室无法正常启动

灯丝无法正常启动，在确认机械泵、分子泵处于正常工作状态后，若灯丝仍无法发射离子流，则需要更换离子源。若灯丝指示灯闪烁，检查离子源航空插座与接线柱是否开路，若开路，需要更换灯丝，若不开路，检查其接线柱与其他接头是否导通，消除短路现象。

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