AST椭偏仪薄膜分析MSP500-RTMF-北京燕京电子有限公司手机版

详细介绍

AST椭偏仪薄膜分析MSP500-RTMF

AST椭偏仪薄膜分析MSP500-RTMF分析产品来自美国AST公司，其可以实现微小区域薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的测量，同样对于材料NK参数也可以实现测量，为人们针对薄膜微小区域进行分析提供了便利。

产品详情

基本功能	1，针对微小区域测试单、多层透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系数 2，实现薄膜均匀性检测以及色度、反射率、透射率等参数测量 3，宽光谱范围同时有效满足材料分析、探测等应用
产品特点	l 强大的数据运算处理功能及材料NK数据库； 2 简便、易行的可视化测试界面，可根据用户需求设置不同的参数； 3 实现微小区域薄膜分析研究； 4 快捷、准确、稳定的参数测试； 5 支持多功能配件集成以及定制； 6 支持不同水平的用户控制模式； 7 支持多功能模拟计算等等。
系统配置	型号：MSP500RTMF 双探测器系统：2048像素的CCD阵列用于UV-Vis，InGaAs阵列用于NIR 光源：高功率的DUV和可见光光源自动的台架平台：特殊处理的铝合金操作平台，手动调节移动范围为100mm×75mm 焦距：螺杆控制的自动调焦物镜有着长焦点距离:4×、10×、15× 、50×(包括一个DUV物镜)通讯接口：USB的通讯接口与计算机相连软件：带有全自动成像功能和2D/3D图形输出的TFProbe 2.2VM版本的软件。测量类型：反射/透射光谱、薄膜厚度/反射光谱和特性尺寸计算机硬件：英特儿酷睿2双核处理器，19”LCD显示器电源：110–240V AC/50-60Hz，3A 尺寸：16’x16’x18’ (操作桌面设置) 重量：120磅总重保修：一年的整机及零备件保修

规格参数

　　波长范围：250nm到1700 nm

　　波长分辨率: 1nm

　　光斑尺寸：100μm (4x), 40μm (10x), 30μm (15x), 8μm (50x)

　　基片尺寸：多可至20mm

　　测量厚度范围: 20Å 到25 μm

　　测量时间：2毫秒

　　精度*：优于0.5%(通过使用相同的光学常数，让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较)

　　重复性误差*：小于2 Ǻ

可选配件项

　　l 波长可扩展到远DUV或者长NIR范围(～2500nm)

　　2 可根据客户的特殊需求来定制

　　3 在动态实验研究时，可根据需要对平台进行加热或致冷

　　4 可选择的平台尺寸多可测量300mm大小尺寸的样品

　　5 更高的波长范围的分辨率可低至0.1nm

　　6 各种滤光片可供各种特殊的需求

　　7 可添加应用于荧光测量的附件

　　8 可添加用于拉曼应用的附件

　　9 可添加用于偏光应用的附件

应用系统

　　主要应用于透光薄膜分析类领域：

　　l 玻璃镀膜领域(LowE、太阳能…)

　　2 半导体制造(PR，Oxide, Nitride…)

　　3 液晶显示(ITO，PR，Cell gap...)

　　4 光学涂层，TiO2, SiO2, Ta2O5... ..

　　5 半导体化合物

　　6 在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜

　　7 非晶体，纳米材料和结晶硅