灵活的探测，4步工作流程，高级的分析性能

将高级的分析性能与场发射扫描技术相结合，利用成熟的 Gemini 电子光学元件。多种探测器可选：用于颗粒、表面或者纳米结构成像。Sigma 半自动的4步工作流程节省大量的时间：设置成像与分析步骤，提高效率。

用于清晰成像的灵活探测

• 利用*探测术为您的需求定制 Sigma，表征所有样品。

• 利用 in-lens 双探测器获取形貌和成份信息。

• 利用新一代的二次探测器，获取高达50%的信号图像。在可变压力模式下利用 Sigma 创新的 C2D 和 可变压力探测器，在低真空环境下获取高达85%对比度的锐利的图像。

自动化加速工作流程

• 4步工作流程让您控制 Sigma 的所有功能。在多用户环境中，从快速成像和节省培训首先，先对样品进行导航，然后设置成像条件。

• 首先，先对样品进行导航，然后设置成像条件。

• 接下来对样品感兴趣的区域进行优化并自动采集图像。后使用工作流程的后一步，将结果可视化。

高级分析型显微镜

• 将扫描电子显微镜与基本分析相结合：Sigma 背散射几何探测器大大提升了分析性能，特别是对电子束敏感的样品。

• 在一半的检测束流和两倍的速度条件下获取分析数据。

• 获益于8.5 mm 短的分析工作距离和35°夹角，获取完整且无阴影的分析结果。

基于成熟的 Gemini 技术

• Gemini 镜头的设计结合考虑了电场与磁场对光学性能的影响，并将场对样品的影响降至更低。这使得即使对磁性样品成像也能获得出色的效果。

• Gemini in-lens 的探测确保了信号探测的效率，通过二次检测(SE)和背散射(BSE)元件同时减少成像时间。

• Gemini 电子束加速器技术确保了小的探测器尺寸和高的信噪比。

用于清晰成像的灵活探测

• 利用新的探测技术表征所有的样品。

• 在高真空模式下利用创新的 ETSE 和 in-lens 探测器获取形貌和高分辨率的信息。

• 在可变压力模式下利用可变压力二次电子和 C2D 探测器获取锐利的图像。

• 利用 aSTEM 探测器生成高分率透射图像。

• 利用 BSD 或者 YAG 探测器进行成份分析。

配件

SmartEDX

为您带来一体化能谱分析解决方案

如果单采用SEM成像技术无法全面了解部件或样品，研究人员就需要在SEM中采用能谱仪（EDS）来进行显微分析。通过针对低电压应用而优化的能谱解决方案，您可以获得元素化学成分的空间分布信息。得益于：

• 优化了常规的显微分析应用，并且由于氮化硅窗口的透过率，可以探测轻元素的低能X射线。

• 工作流程引导的图形用户界面地改善了易用性，以及多用户环境中的重复性。

• 完整的服务和系统支持，由蔡司工程师为您的安装、预防性维护及保修提供一站式服务。

拉曼成像与扫描电镜联用系统

*集成化的拉曼成像

在您的数据中加入拉曼光谱及成像结果，获得材料更丰富的表征信息。通过扩展蔡司Sigma 300，使其具备共聚焦拉曼成像功能，您能够获得样品中的化学指纹信息，从而指认其成分。

• 识别分子和晶体结构信息

• 可进行3D分析，在需要时可关联SEM图像、拉曼面扫描成像和EDS数据。

• *集成RISE让您体验由*的SEM和拉曼系统带来的优势。