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产品简介:500ºC真空热压机VHP-5T-4是一款电动真空平板式真空热压机,专门用于晶片的焊接和薄膜转移,其可处理大样品尺寸为100mm×100mm,高工作温度为500℃,在此温度下可对样品实加的大压力为6T(七月份更改为大压力40T)。
500ºC热压机VHP-5T-4操作视频
产品型号 | 500ºC真空热压机VHP-5T-4 |
主要特点 | 1、加热平台中间嵌有1000W的加热管,可达到快速加热的效果;加热平台顶端设有水冷管(当工作温度高于200 ℃时请注入冷却水(>15L/min)),以达到快速冷却的效果。 2、采用两个精密的温控器独立控制两块加热平台,且可设置30段升降温程序,采用PID方式进行温度调节,并带有过热和断偶保护功能。 3、使用控温软件和PC接口可将温度程序和温度曲线导入计算机。 4、数字压力显示器安装在真空腔体外,可设置其压力,当压力达到设置值时电机将自动停止。 5、液压装置和加热台都置于真空腔体内,且腔体采用304不锈钢制作,并焊有加强筋(防止真空状态下腔体变形)。 6、真空腔体前端设有观察窗。 7、一个高灵敏度的真空计安装于真空腔体上,测量内部的真空度。 |
技术参数 | 1、电源:单相AC208V-240V 50Hz/60Hz 2、大功率:2500W 3、加热平台:采用高温合金钢制成,高可承受温度500℃,尺寸135mm×135mm,两平台间可移动距离15mm 4、液压泵:40T的电动液压机与真空腔体相连接,压力控制精度为±0.01MPa(0.1kg/cm2),自动压力控制并带有数显 5、高工作温度:500℃ 6、升温速率:<10℃/min 7、控温精度:±1℃ 8、真空度:10E-3torr 9、内部腔体尺寸:372mm×420mm×480mm 10、观察窗口:Ø150mm |
产品规格 | 尺寸:600mm×500mm×400mm |