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十字移动工作台-适用于SJ410
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面议
X轴 | 测量范围 | 50mm(CV-1000)或100mm(CV-2000) | ||
分辨率 | 0.2μm | |||
测量方法 | 反射型线性编码器 | |||
驱动速度 | 0.2,1mm/s和手动 | |||
测量速度 | 0.02-5mm/s | |||
测量方向 | 向后 | |||
直线度 | 3.5μm /50mm(CV-1000) 3.5μm /100mm(CV-2000) *当X轴在水平方向上 | |||
指示精度 (20℃) | ±(3.5+2L/100)μm L为驱动长度(mm) | |||
倾斜范围 | ±45°(CV-2000) | |||
Z1轴 | 测量范围 | 25mm(CV-1000)或40mm(CV-2000) | ||
分辨率 | 0.4μm(CV-1000系列) 0.5μm(CV-2000系列) | |||
测量方法 | 弧形编码器 | |||
指示精度 (20℃) | ±(3.5+14H/25)μm) H为水平位置上的测量高度(mm) | |||
探针上下运作 | 弧形运动 | |||
探针方向 | 向下 | |||
测力 | 10-30mN | |||
跟踪角度 | 向上 | 77° | ||
向下 | 87° | |||
探针针尖 | 半径 | 25μm | ||
材料 | 硬质合金针尖 | |||
基座尺寸(H) | 750x600mm(CV-2000) | |||
基座材料 | 花岗岩(CV-2000) | |||
重量 | 主机 | 5kg(CV-10000N2)、115.8kg(CV-2000M4)、124kg(CV-2000S4) | ||
控制装置 | 14kg | |||
遥控箱 | 0.9kg | |||
电源 | 100-240VAC±10% 50/60Hz | |||
能耗 | 150W*主机 | |||
Z2轴(立柱,仅用于CV-2000) | 立柱类型 | 电动(S4型)和手动(M4型) | ||
垂直行程 | 250mm(S4型)和320mm(M4型) | |||
分辨率 | 0.2um(S4型) | |||
检测方法 | ABSOLUTE线性编码器(S4型) | |||
驱动速度 | 0-5mm/s和手动 | |||
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型号 | CV-1000N2 | CV-2000N4 | CV-2000S4 |
X1轴测量范围 | 50mm | 100mm | 100mm |
Z1轴测量范围 | 25mm | 40mm | 40mm |
Z2轴测量范围 | - | 250mm | 320mm |