技术参数：

X 轴 (驱动部)
测量范围: 100mm

分辨率： 0.05μm

长度基准： 线性编码器
驱动速度: 0-40mm/s

测量速度： 0.02-5mm/s
移动方向: 向后

直线度： 0.15μm/100mm

Z2轴（立柱）

类型： 手动操作或电动

垂直移动： 350mm或550mm*

分辨率*： 1μm

检测方法*： 旋转编码器

驱动速度*： 0-20mm/s

*仅适于电驱动型
检测器
范围/分辨率: 800μm/0.01μm,80μm/0.001μm,8μm/0.0001μm
检测方法: 无轨测量
测力: 4mN 或 0.75mN
测针针尖: 金刚石, 90º / 5μmR(60º / 2μmR)
导头曲率半径: 40mm
导头压力: 小于 400mN
类型: 差动电感式
尺寸(DxH)

主机（DxH）： 716 x 450 x 863 mm

花岗岩基座（D）：600 x 450 mm
重量
控制器: 4kg
主机： 140kg

评估能力：

适用标准:
JIS' 82, JIS' 94, JIS' 01, ISO, ANSI, VDA
评估轮廓:
P (原始轮廓), R (表面粗糙度曲线), DIN4776, 粗糙度曲线motif
评价参数:
Ra, Ry, Rz, Rt, Rp, Rq, Rv, Sm, S, Pc, R3z, mr (c), Rpk, Rvk,δc, Rk, Mr1, Mr2,

Lo, Ppi, R, AR, Rx, A1, A2, Vo, HSC, mr,SK, Ku, Δa, Δq, Wte, , W, AW (可定制)

Rz1max (ISO),Rmax (VDA, ANSI)
分析图表: ADC、BAC、功率谱图
评价曲线 断面曲线、粗糙度曲线、DF曲线、波纹曲线表面粗糙度MOTIF、波形MOTIF曲线

解析图表 负荷曲线、振幅分布曲线

曲线补偿 抛物线、双曲线、圆锥、圆、二次曲线、倾斜补偿、无补偿
滤波类型 2CR, PC75, 高斯
截止波长 lc:0.025, 0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8,25mm
ls: 0.25,0.8,2.5, 8, 25,80,250μm 无滤波器

lf:0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8,25mm 无滤波器

取样长度: 0.025,0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8,25mm;