荧光光谱仪分析装置。具备支持测定、解析的“ZSX Guidance”，即使是初学者也能简单地得到正确的分析结果。通过数字计数系统、高速驱动的测距计、优化的控制系统，实现高速、高精度测量。通过人工多层累积膜和真空控制机构也可以进行超轻元素测量。这是一款搭载了防人类错误功能等安心、安全设计、点映射分析和散射线SQX功能的高规格机型。

采用了可以放心进行例程分析的上表面照射方式。即使粉末样品中的粉末飞散，也不会对光学系统产生影响。为了保护样品，不需要胶卷。

定量应用程序自动设置功能

只需输入标准样品的标准值和样品信息，即可自动设定分析线、光学系统的设定、共存元素校正、重叠校正，初学者也可轻松保存校准线。

用于膜厚、附着量分析的测量线检索、分析评价程序

可以得到精度分析的分析线的组合、分析线的分析深度信息、上层吸收比例的模拟结果和干扰线的信息。

操作性“轻松分析”

通过汇总日常例程分析所需操作的“轻松分析”，可简单调用一系列分析设置，或将频繁使用的应用程序注册到“收藏”中。

快速分析

通过对样品的高速搬运、高速驱动的计算器、高速数据处理、高效的各驱动部的控制，提高了吞吐量。定性分析时间约为40%，定量分析可缩短约20%（与本公司相比），每单位时间可增加样品处理数量。

高精度测量

X射线计数系统采用数字多通道分析器（D-MCA）。通过高速数字处理实现了高计数率范围内的计数线性，提高了分析精度。大计数率（计数线性1%）：SC 1800 kcps、FPC3000kcps

防止人为错误

您可以为每个操作人员设置访问软件的级别。这样就可以防止由于新手操作失误而导致的数据库变更和删除。程序菜单的显示和隐藏设置可以根据用户级别仔细选择，防止人为错误。

WDX系统中的点映射分析

配备了高分辨率照相机，可以清晰地显示样品整体图像中部分的放大图像。这样，即使在微细区域也能正确位置。另外，通过r-θ样品阶段，可以以相同的灵敏度测量所有测量位置，因此可以进行正确的分析。