日本理学上照式波长色散光谱仪具备支持测定、解析的“ZSX Guidance”，即使是初学者也能简单地得到正确的分析结果。通过数字计数系统、高速驱动的测距计、优化的控制系统，实现高速、高精度测量。通过人工多层累积膜和真空控制机构也可以进行超轻元素测量。这是一款搭载了防人类错误功能等安心、安全设计、点映射分析和散射线SQX功能的高规格机型。

上照式波长色散光谱仪采用了可以放心进行例程分析的上表面照射方式。即使粉末样品中的粉末飞散，也不会对光学系统产生影响。为了保护样品，不需要胶卷。

用于膜厚、附着量分析的测量线检索、分析评价程序，可以得到精度分析的分析线的组合、分析线的分析深度信息、上层吸收比例的模拟结果和干扰线的信息。

只需输入标准样品的准值和样品信息，即可自动设定分析线、光学系统的设定、共存元素校正、重叠校正，初学者也可轻松保存校准线。

通过对样品的高速搬运、高速驱动的计算器、高速数据处理、高效的各驱动部的控制，提高了吞吐量。定性分析时间约为40%，定量分析可缩短约20%（与本公司相比），每单位时间可增加样品处理数量。

X射线计数系统采用数字多通道分析器（D-MCA）。通过高速数字处理实现了高计数率范围内的计数线性，提高了分析精度。大计数率（计数线性1%）：SC 1800 kcps、FPC3000kcps

通过汇总日常例程分析所需操作的“轻松分析”，可简单调用一系列分析设置，或将频繁使用的应用程序注册到“收藏”中。

配备了高分辨率照相机，可以清晰地显示样品整体图像中部分的放大图像。这样，即使在微细区域也能正确位置。另外，通过r-θ样品阶段，可以以相同的灵敏度测量所有测量位置，因此可以进行正确的分析。

您可以为每个操作人员设置访问软件的级别。这样就可以防止由于新手操作失误而导致的数据库变更和删除。程序菜单的显示和隐藏设置可以根据用户级别仔细选择，防止人为错误。