三维磁场探针台产品概述：

公司提供的一维 、二维 、三维磁场探针台，采用无磁材料制成，一维 、二维 、三维三对亥姆霍兹线圈正交放置，产生空间一维 、二维 、三维磁场。线圈可采用风冷（磁场较小）也可采用水冷结构（磁场较大），并且配备有线圈过热保护装置。和锦正茂生产的高精度双极性直流电源配合使用可以长时间稳定工作。通过软件或者电源控制面板上按键控制每一维上的输出电流，可以产生空间任意方向的矢量磁场。探针台配备有可移动样品台，可以实现水平方向二维移动和样品台360度转动，便于样品的安装和测试。探针台具有四个高精度探针臂，同时配有高精度电子显微镜，便于微小样品的观察操作。探针可通过直流或者低频交流信号，用来测试芯片、晶圆片、封装器件等。

三维磁场探针台应用范围：

广泛应用于半导体工业、MEMS 、超导、电子学、铁电子学、物理学、材料学和生物医学等领域。三维探针台自主研发的高精度双极性电源相匹配，通过真正的双极性电源输出，实现了空间任意方向上的矢量场合成。

三维磁场探针台可选附件：

þ 各类DC探针、高频探针、主动式探针、电缆线

þ CCD或C-MOS视频成像装置

þ Chuck运动装置

þ 电磁铁系统/超导磁铁系统

þ 1Mpa正压系统升级

þ 超高温升级选件

þ 超高真空升级选件

þ 各类探针夹具

þ 屏蔽箱

þ 防振桌

þ 转接头

þ *真空泵

 三维磁场探针台技术指标：