薄膜厚度检测仪

Delta薄膜厚度检测仪

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2022-04-28 17:30:02
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广州贝拓科学技术有限公司

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产品简介

薄膜厚度检测仪利用薄膜干涉光学原理，对薄膜进行厚度测量及分析。用从深紫外到近红外可选配的宽光谱光源照射薄膜表面，探头同位接收反射光线。Delta根据反射回来的干涉光，用反复校准的算法快速反演计算出薄膜的厚度。测量范围1nm-3mm，可同时完成多层膜厚的测试。对于100nm以上的薄膜，还可以测量n和k值。

详细介绍

薄膜厚度检测仪产品特点

快速、准确、无损、灵活、易用、性价比高

薄膜厚度检测仪应用案例

应用领域

                      半导体（SiO2/SiNx、光刻胶、MEMS，SOI等）         LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亚酰胺ITO等)                                   

LED (SiO2、光刻胶ITO等）                      触摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率测试等) 

               

 汽车(防雾层、Hard Coating DLC等）             医学（聚对二甲苯涂层球囊/*壁厚药膜等）

技术参数

型号

TF200-VIS

TF200-EXR

TF200-DUV

TF200-XNIR

波长范围

380-1050nm

380-1700nm

190-1100nm

900-1700nm

厚度范围

50nm-40um

50nm-300um

1nm-30um

10um-3mm

准确度1

2nm

2nm

1nm

10nm

精度

0.2nm

0.2nm

0.2nm

3nm

入射角

90°

90°

90°

90°

样品材料

透明或半透明

透明或半透明

透明或半透明

透明或半透明

测量模式

反射/透射

反射/透射

反射/透射

反射/透射

光斑尺寸2

2mm

2mm

2mm

2mm

是否能在线

是

是

是

是

扫描选择

XY可选

XY可选

XY可选

XY可选

 

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