SCANLAB的SCANcube系列的特点是其结构非常紧凑。除了坚固的外壳外，SCANcube系列还提供了具吸引力的性价比，使其成为标准应用的选择。

SCANcube III系列以进一步改进的动力学和精度给人留下深刻印象。

SCANcube IV具有特定应用的调谐、改进的线性度和可选的回读功能，大大地扩展了SCANcube系列的性能范围。

• 小巧轻便的设计
• 坚固、密封的外壳
• 高动态性能
• 大量镜面涂层可供选择
• 可选：实际位置、温度和状态值的读回功能

目标与优化的安装套件

针对应用程序和客户的调整

读回功能

产地：德国

光圈：10毫米

电流计扫描仪的角度变送器：模拟位置检测器

光学配置

波长范围（标准）：

所有常见激光系统的标准涂层：YAG和光纤激光器，绿色激光器，紫外线激光器，二氧化碳激光器

此外，我们的产品组合包括许多多波长和宽带涂层

激光功率max.（标准系统，99%工作循环）：200 W @ 1064 nm

典型扫描角度：±0.35拉德（可选）

图像字段大小（1064纳米，f=160毫米）：110毫米x 110毫米

典型光斑尺寸（1064纳米，f=160毫米，M2=1.0）：32微米

动态

已安装调谐的数量：1

典型调谐：快速矢量调谐

跟踪错误：0.12毫秒

打标速度（f=160毫米）：3.0米/秒

定位速度（f=160毫米）：20.8米/秒

写入速度（使用F-Theta镜头，F=160 mm）：

高书写质量700cps

良好的写作质量950cps

阶跃响应时间（稳定到满量程的1/1000）：

满量程的1%：0.3毫秒

满量程的10%：0.80毫秒

准确度

可重复性（RMS)：<2µrad

定位分辨率（max.）：16位

非线性：<0.7 mrad/44°

温度漂移：

抵消<20 µrad/K

增益<20 ppm/K

8小时漂移（预热30分钟后）：

抵消<50 µrad

增益<50 ppm

电子/控制

伺服控制电流计扫描仪：数字伺服控制板

控制接口（备选方案）：数字SL2-100，数字XY2-100标准

诊断选项：是（可选）

功率要求：30 V直流电，max.3 A

机械

扫描轴：双轴系统

外壳变体：标准：扫描头

连接器位置：横梁入口侧

无目标重量（标准外壳）：2.1千克

尺寸（长x宽x高）（标准外壳）：114 x 96.5 x 101.6毫米

横梁位移：12.54毫米

其他规格

工作温度：25°C±10°C

增益误差：<5 mrad

零偏移偏差：<5 mrad

标记任务

半导体行业材料加工

微观结构

动态处理

增材制造（3D打印）