SET3/1064/532/355，SFT3：激光刻阻机/激光修阻机/激光调阻机

激光调阻机的产品特点：

调阻精度高：*的激光器提供了TEM00高光束质量和极细线宽的激光束；四线制高速测量系统，测量时间仅为25us；拥有软件预调误差补偿功能；　

调阻速度快：*的激光器拥有*的重复频率，在保证光斑重叠率的情况下能拥有很高速度；德国进口扫描振镜，扫描速度极快；高精度分步重复机构，空气轴承，移动速度及加速度快；　

可靠性高：整机配置核心器件均采用*配置；采用花岗岩台座，稳定可靠；　

功能强大：拥有温度实时补偿功能；同时具有激光划片和打标功能；　

运行及维护成本低廉：采用半导体端面泵浦或光纤激光器；使用寿命长，性能稳定；电光转换效率高，节约用电成本；采用风冷系统，无须外置冷却设备；操作简单，无须高额培训成本；　

激光调阻机技术参数：　

激光器系统：　

激光类型：半导体端面泵浦激光器 / 光纤激光器　

激光波长：1064/532/355nm　

激光平均功率：10W / 20W / 7W（UV355）　

激光频率：200Hz-50KHz　

典型光斑尺寸：30μm　

实际切口取决于材料、光学器件和波长；可根据需要选配532绿激光或355紫外激光zui小光斑达12μm　

泵浦源使用寿命：20,000—100，000小时　

冷却方式：风冷　

对焦方式：计算机程序控制　

激光束定位系统：　

激光束运动范围：75mmX75mm（可选配其他规格）　

点到点运动时间：5ms（典型）　

zui大速度：7000mm/s　

重复定位精度：2.5μm　

激光束zui小步进：0.76μm　

图像监视系统：　

监视方式：激光同轴监视　

zui大放大倍数：>100倍　

图像监视显示屏：19寸液晶　

测量系统：　

激励方式：电流/电压激励　

恒流源：0.01μA~100mA计算机程控选择　

恒压源：0~20V计算机程控选择（可选其它电压范围）　

电阻测量方式：四线制加电流测电压　

直流电压测量：10mV~10V（满程电压）　

调节对象发热控制：程序可设定　

电阻测量精度：低阻：<0.05%+1%/R  （R<100Ω）     　

中阻：<0.05%　

高阻：<0.05%+0.02%R（R>0.1MΩ）　

电阻测量范围：0.01Ω-500MΩ　

电阻测量速度：25μs　

直流电压分辨率：0.16μV（在10mV满量程条件下）　

探针板：44针11组四线制（可选其它规格）　

探针板运动：计算机程序控制　

计算机及软件系统：　

工业控制计算机（双核），17寸液晶　

操作系统：Windows XP　

VB平台开发的可视化应用软件，界面友好，功能强大　

分步重复运动系统：　

运动XY范围：290x260mm　

运动分辨率：1μm　

定位精度：小于6μm（带误差补偿）　

重复定位精度：小于3μm   　

zui大运动速度：900mm/s　

具有温度补偿等功能　

非接触温度测量：　

温度测量精度：0.2℃　

调阻温度修正：计算机程序控制　

其它技术指标：　

供电电压：220V AC　

整机功耗：小于1000W　

激光调阻机应用和市场：主要应用于厚膜、薄膜电路的精密调节。广泛应用于厚膜混合集成电路、电子元器件、汽车电器、传感器、*科研、片式电阻等行业。