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采用*的磁流体密封技术，具有噪音小、振动小、运行平稳、精度高等特点。带有安全区配置功能和灵敏的碰撞保护功能，有效保护机械手和客户晶圆,减少用户误操作导致的各种损失。全新的轨迹规划，提高运动节拍，提高了用户产能.带有大屏幕机器人示教器，方便调试人员使用。可以根据客户应用的特殊要求，定制手臂尺寸等。
参数：
型号 | SRBZ970C | |
密封方式 | 磁流体密封 | |
自由度数 | 2 | |
负载 | 名称 | 托盘 |
直径 | Φ380mm | |
重量 | 2kg | |
运动范围 | R轴（mm） | 立柱中心至R轴伸展处被搬运物体中心距离920 |
θ轴（°） | 360 | |
全行程最小时间 | R轴（s） | 2.5（Home to Extend 920mm） |
θ轴（s） | 4.8 (180°) | |
重复定位精度 | θ轴（°） | ±0.01（3σ） |
R轴（mm） | ±0.1（3σ） | |
重量 | 机械手本体 | 41kg |
控制器 | 15kg | |
耐真空度 (Pa) | ＜5×10-9 Torr | |
漏率 | ＜1×10-9 std.cc/sec He | |
碰撞保护 | 盘片和机械手无损伤 | |
行程 | 970mm | |
电源范围 电压波动范围 | 单相交流208V +10%，-15% | |
