详细介绍

RLD10平面镜干涉仪

平面镜干涉仪适用于XY平台应用。

RLD10发射头内含有干涉镜组、*的多通道条纹检测系统、激光光闸和内置的激光准直辅助镜。提供0°和90°两种RLD10发射头型号。

RLD发射头和镜组

轴行程	0 m至1 m
分辨率（使用RLU配置）	模拟正交 = λ/4 (158 nm) 数字正交 = 10 nm RPI20分辨率 = 38.6 pm
系统非线性误差* (SDE) *不含接口	低于50 mm/sec且信号强度 > 70%时 <±2.5 nm 1 m/sec且信号强度 > 50%时 <±7.5 nm
速度	可达1 m/sec

对于非真空应用，为了维持变动环境条件下的精度，需要某种形式的折射率补偿。雷尼绍提供RCU10实时方波补偿系统，用于对环境变化进行补偿。

若选用RPI20并行接口并集成到RLE系统中，可达到38.6皮米的分辨率。该接口可接收差分模拟1 Vpp正弦/余弦信号，并提供并行输出格式。有关附件的详细信息，请参见RCU10补偿系统和激光尺接口。

英国雷尼绍RLD10平面镜干涉仪