EddyCus TF inline在线电阻率监测系统

EddyCus TF inline在线电阻率监测系统一款适合薄膜电阻率在线监测，动态检测产品质量，实时测量产线上薄膜面电阻（方块电阻）及薄膜厚度测量的解决方案。

特点

非接触与实时测量准确测量高度可变性和灵活性在真空内-和真空外的解决方案固定传感器和穿越式解决方案单线和多线解决方案高达每秒1000次的高采样率

参数

薄膜电阻（欧姆/平方）
金属层厚度（nm、μm）
金属基板厚度（μm）
各向异性
缺陷
完整性评定
 

应用
建筑玻璃（LowE）
触摸屏和平板显示器
OLED和LED应用
智能玻璃的应用
透明防静电铝箔
光伏
半导体
除冰和加热应用
电池和燃料电池
包装材料

材料
金属薄膜和栅格
导电氧化物
纳米线膜
石墨烯、CNT（碳纳米管）、石墨
打印薄膜
导电聚合物（PEDOT:PSS）
其他导电薄膜及材料

规格参数
薄膜电阻测量技术：非接触式涡流传感器
基板：例如：薄膜、玻璃、晶圆，等等
测量间隙尺寸：5 / 10 / 15 / 25 / 50 / 75 mm
传感器对数 / 监控线数：1 - 99
传感器尺寸 (W x L x H)：
M 型传感器：80 x 100 x 66 mm
S 型传感器：34 x 48 x 117 mm
导电层：金属/ TCOs/ CNTs/ 纳米线/ 石墨烯/ 栅格/ PEDOT/其它

薄膜电阻的范围：
低      0.0001 - 10 Ohm / sq; 2 至 7 % 精度
标准    0.01 - 1,000 Ohm / sq; 2 至 7 % 精度
高      10 - 100,000 Ohm / sq; 3 至 8 % 精度
金属膜的厚度测量（例如：铝、银、钼、银浆）：2 nm - 2 mm (与薄膜电阻一致)
其它集成的测量：金属厚度/光透明性/密度/电性各向异性
环境：在真空外/在真空内 @ T < 60°C / 140°F (根据要求 <90°C / 194°F)
采样率：1 / 10 / 50 / 100 / 1,000 次测量每秒
硬件触发：5, 12, 24 V
界面：UDP、DOT Net libraries、TCP、Modbus、模拟/数字