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一键式全自动快速椭偏仪仪器简介
新型的全自动薄膜测量分析工具，工业化设计，操作简单，可在几秒钟内完成全自动测量和分析，并输出分析报告。是用于快速薄膜测量和器件质量控制理想的解决方案。
一键式全自动快速椭偏仪技术参数
·光谱范围：450-1000 nm
·多种微光斑自动选择
·光斑可视技术，可观测任何样品表面
·CCD探测器
·自动样品台尺寸：200mmX200mm；XYZ方向自动调节; Z轴高度>35mm
·70度角入射
主要特点
·*自动化设计，一键式操作，直接报告输出
·液晶调制技术，测量光路中无运动部件
·CCD探测系统，快速全谱输出
·多个微光斑尺寸选择，可视技术
·封闭式样品仓
