给出了在真空容器和分子泵之间具有阀和冷阱的超高真空系统。 粗抽管线和前级管线与图5-21所示的扩散泵抽气系统相同。 分子泵的配置不同于前级泵和扩散泵。 扩散泵的正常运行需要前级泵具有足够大的抽速，以确保在大排气量时，扩散泵前级的压力低于扩散泵的临界前级压力。 涡轮分子泵需要选择具有足够吸力的前级泵，以使靠近前级管的叶片以分子流或仅在大排量处处于过渡流。

大多数分子泵的大稳态入口压力p约为0.5〜1Pa，大前级压力约为压力前的30Pa，因此大排量时分子泵的压缩比（pfront / p）或前 级泵的抽速与分子泵的抽速之比（S前/ S分钟）在60到30之间。对于在前级管路中要求氢分压特别小的系统，抽速比应配置为 应为20：1.涡轮分子泵是较清洁的真空泵（也称为半无油泵）。 它们对诸如油脂的大分子具有较高的压力，并且不需要液氮冷阱来防止轴承润滑油或机械泵泵流体倒流。 在图5-22中的真空室和分子泵之间安装液氮捕集器的主要目的是提高系统中水蒸气的泵送速度，这可以降低烘烤脱气时间短，粗抽管无需配备冷阱，粗抽采用10-1050Pn的转换压力。
  力可以有效地防止机械泵油通过粗糙的泵送管道进入真空室。 小型涡轮分子泵抽油机可取消粗抽泵管路，同时启动涡轮分子泵和机械泵，并通过涡轮分子泵粗抽真空室。 重要的是要指出，配置的机械泵的泵送速度应能够在涡轮分子泵达到大速度之前将真空室泵送至过渡压力。 否则，分子泵驱动电机的过电流保护电路将关闭涡轮分子泵。 关 当涡轮分子泵达到其额定转速的约75％时，可选的机械泵应能够将真空腔泵送到20〜200Pa。 在此压力下，可以防止机械泵油倒流。 大多数涡轮分子泵达到额定转速的启动时间为5〜10min。 机械泵的有效抽速可以根据分子泵的启动时间和真空能力（包括管道和分子泵）来计算。
  涡轮与泵的氢气的压缩比以及前极氢气的分压是影响极限压力的重要原因之一。 真空泵的维护会降低前部的氢气分压，这会增加涡轮分子泵的极限压力。 高压缩涡轮分子泵采用两级旋片机械泵作为前级，极限压力约为5×10-9Pa。 当扩散泵用作前级泵时，可以增加到1 10-Pa。 在泵之间加一个钛吸附阱或液氮分子筛吸附阱，其极限压力可低于10-9Pa
  用于泵送大流量的涡轮分子泵的泵送系统，例如离子蚀刻机，需要大量的处理气体。 当入口压力过高时，气流的摩擦阻力将减慢分子泵的速度，因此与氢气的压力比将迅速降低。

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