涡轮泵分子泵显示了一个超高真空系统，该系统在真空室和分子泵之间具有一个阀和一个冷阱。 粗抽管线和前级管线如图3-23所示。 抽水系统是相同的。 分子泵的前级泵的尺寸与扩散泵的尺寸不同。 扩散泵的正常运行需要前级泵具有足够的抽速，以确保在大排量时前级压力低于扩散器的临界前级压力。 涡轮分子泵需要选择具有足够容量的前级泵，以便接近前级管的叶片在大排量时处于分子流状态或仅处于过渡流状态。 大多数分子泵的大稳态入口压力约为0.5〜1Pa，大前级压力P约为30Pa，因此分子泵在大排量（pm / p人）或前级时的压缩比 泵的抽速与分子泵的抽速之比（S / S人）在30和60之间。对于前级管路中氢分压低的系统，抽速比应为20：  1.涡轮分子泵对诸如油脂的大分子具有较高的压缩率。 它们属于更清洁的真空泵（也称为半无油泵）。

它们不需要液氮冷阱来防止轴承润滑剂或机械泵的泵液倒流。 如图所示，在真空室和分子泵之间安装液氮捕集器的主要目的是提高系统对水蒸气的抽吸速度，从而可以缩短烘烤脱气时间。 出于相同的原因，涡轮分子泵系统不需要粗糙的泵阱和前级管道冷阱。 在粗抽过程中，需要100〜1050Pa的切换压力，可以有效地防止机械泵油通过粗抽管进入真空室。 涡轮分子泵对氢气的压缩比和前面的氢气分压是影响极限压力的重要原因之一。 降低前面的氢气压力会增加涡轮分子泵的极限压力。 高压缩比的涡轮分子泵采用两级旋片机械泵作为前级，极限压力约为5×10-9Pa。 当扩散泵用作前级泵时，可以增加到1×10-9Pa。 在泵之间增加了钛吸附阱或液氮分子筛吸附阱，其极限压力可低于10-9Pa。 它用于大流量涡轮分子泵泵送系统，例如蚀刻机等。对于气体，当入口压力过高时，气流的摩擦阻力会减慢转速，从而迅速降低压缩比 氢。 图325是Hanlon给出的前级泵35m3 / h和Balzers给出的泵速400L / s的入口压力和泵速的实验曲线。 当入口压力增加到0.9Pa时，拐点出现在曲线上。 使用较大的前级泵，曲线的A部分将向右移动，反之亦然。 避免抽速下降的方法是在泵的入口处设置一个节流阀。 根据恒定泵送流量的原理，在保持真空室中所需的过程压力的同时，分子泵仍处于全速低压状态。

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