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极限真空度是指器件在无漏放气时所达到的真空度,工作真空度是指在器件进行真空处理时所能维持的真空度。真空处理时往往要放出大量气体，这时的工作真空度将显著地低于极限真空度。极限真空度和工作真空度各有其重要性，它们从不同侧面对器件质量产生影响。例如在用氧化物阴极器件的排气真空系统中，电10-2极除气和阴极分解会大量出气，如果工作真空度差，则可能出现电极被氧化及阴极激活欠佳的结果。但器件后封离时已基本上无漏放气，器件内的真空度就取决于排气真空系统的极限真空度。

这时间决定于真空系统抽速的大小。提高抽速可缩短这一时间。大的工作室显然需要大的抽速。有时工作室虽然不大，但由于漏放气严重，则真空系统也需要大的抽速，否则大量的漏放气将大大降低真空度，使系统无法工作。

实践证明，单纯提高和保证极限真空度及工作真空度是不够的，还应对残余气体成分有一定的要求。例如真空摄像器件，为了保持在一年寿命期内灵敏度的降低不大于巧，要求器件内的残余气体的含氧量应不高于10-2Pa 耐高压的真空开关管内，应不含有碳氢化合物分子等等。真空系统的残气成分，如系统中无其它气源，则主要取决于泵的特性。

要满足这些要求，必须从泵的选择、管道尺寸的确定及布置、装配工艺等多方面综合考虑。上述这些基本要求经常是相互联系的。例如，由于真空系统总不免存在有微漏现象，故采用抽速大的泵比抽速小的泵能获得较好的工作真空度，但大的泵价格贵，耗水、耗电多，故有合理选择的问题。仪器和小型的真空系统宜选用微型真空泵，成本低、效率高、噪音小，有的用户选用流量较大的工业真空泵是不合适的。

随着计算机技术的发展，用户对真空系统的自动化要求也不断提升。对于真空系统，自动控制主要是对真空泵流量和真空度的调节。真空度常常通过调节真空泵流量、安装节流阀、泄压阀来控制。用节流的办法能量损失大、产生额外噪音，尽量直接调节真空泵的转速。工业真空泵调速的方法有多种，主要分为两类：*类是电机转速不变，通过附加装置改变真空泵的转速，如变速箱调速，第二类是直接改变电机的转速，如可控硅串级调速、变频调速等。目前工业真空泵常用的方法是变频调速，节能效果好，可实现无级调速，调速比大，调速精确，速度平稳。