无尘车间工程是一个应用行业非常广泛的基础性配套产业,在电子信息、半导体、光电子、精密制造、医疗器械、生物制药、手术室、化学、汽车喷涂等众多行业均有应用,特别是以微电子、化学为代表的行业,对于室内环境的要求*。室内生产环境是制约工业生产,特别是高科技生产能否进行的关键因素之一。那么常见的无尘车间类型有哪几种呢?一起来了解一下。
一、无尘车间层流式
此种方式是根据空气气流运动成均匀的直线型,空气由覆盖率100%的过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风。此型式适用于无尘车间等级需定较高的环境使用,一般其无尘车间等级为Class1——100。
其型式可分为二种:
1.垂直层流式:房间天花板*以ULPA过滤器覆盖,空气由上往下吹,可得较高的洁净度,在生产过程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响。
缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,天花板的吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。
2.水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁的回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在下流侧污染较严重。
优点:构造简单,运转后短时间内即可变成稳定。
缺点:建造费用比乱流式高,室内空间不易扩充。
二、无尘车间乱流式
此种方式是让空气通过空调箱经风管与无尘车间内的空气过滤器(HEPA)进入无尘车间,并由无尘车间两侧隔间墙板或高架地板回风。此型式适用于无尘车间等级1000-100000级。气流非直线型运动而呈不规则的乱流或涡流状态。
优点:构造简单、系统建造成本低,无尘车间的扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高无尘车间等级。
缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活,欲达需求的洁净度,往往须耗时相当长一段时间。
三、无尘车间复合式
此种方式是将乱流式及层流式合并使用,可提供局部超洁净的空气。
1.装局部无尘车间:将广州无尘车间等级10000——100000的乱流无尘车间内的产品生产区洁净度等级提高为10——1000级以上,以便满足生产条件;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
2.净管道:将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量的送风即可得到良好的洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。
3.净隧道:以HEPA或ULPA过滤器将生产区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此类型需将作业人员的工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点:①弹性扩充容易;②维修设备时可在维修区轻易执行。
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