1. 分流器
分流器主要有环形通道,管形通道,槽形通道以及网状通道分流器。
分流器的作用是不管流量计的流量是多大,只给传感器替供一定范围量的气体。如给传感器提供的气体量太小,则传感器的信号输出会太弱,虽然可将其放大,但噪音也会同时被放大,使得流量计不能工作。如给传感器的气量太大,则传感器会在非线性区工作,还有可能会使传感器的输出超出其极限,其工作将处于不稳定状态。因此,对分流器孔径的计算和数量的确定是至关重要的。
图1 不同形状分流器
2. 分流器技术在质量流量控制器中的应用
气体Q从入气口进入质量流量控制器的分流器通道内,在分流器的作用下气流被分成了两路,一路气体直接通过分流器Q2;另一路则通过流量传感器的毛细管Q1,然后两路汇合后,从出口流出。质量流量控制器的流量传感器对经过毛细管的气体流量进行测量,所获得的流量信号送入放大器进行放大。
图2 分流器工作原理图
图3 管式分流器示意图
当气体Q从零开始逐渐增大,传感器的输出信号也随之从零开始逐渐增大,这样就有一个气体的流量值对应着一个输出信号值,从而可以作出输出信号值与流量的关系图,如图4所示。
图4
分流器的设计不仅要保证其为传感器提供适当的流量,还要求其提供的气量为线性,即对于某*流量范围的分流器,分流比应不随流量变化。
3. 使用分流器的优势
在实际应用中,流量传感器不变,通过改变分流器来实现各种流量规格的气体质量流量控制器。流量规格从5 ml/min到30L/min,每个流量规格都有一个分流器与之相对应。由于流量传感器的毛细管内径和长度都是已知的,只要确定分流管的长度L和内径d,就可以计算出所需分流管的根数。采用如此*确计算的方法,得到分流器的计算结果,为提高产品的精度提供理论依据和保障。
同时在管道中采用分流器的方式,可以确保质量流量控制器中气体为层流状态,为传感器的毛细管内气体的测量提供稳定的气体环境条件,从而提高产品的测量和控制精度。