真空炉按加热元件分为真空电阻炉、真空感应炉、真空电弧炉、真空自耗电弧炉、电子束炉（又称电子轰击炉）和等离子炉.一般由炉膛、电热装置、密封炉壳、真空系统、供电系统和控温系统等组成。密封炉壳用碳钢或不锈钢焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。为防止炉壳受热后变形和密封材料受热变质，炉壳一般用水冷或气冷降温。炉膛位于密封炉壳内。
真空炉的加热以相变换热方式工作，在一个无不凝结气体的密闭容器中，中间介质吸收燃料燃烧产生的热量后汽化成气态并进入气相空间，在气相空间将汽化潜热传递给冷凝换热器盘管内的工质(如水、原油或天然气等)后，冷凝成液体回落到液相空间，再次被燃料燃烧加热蒸发。工质不断带走中间介质传递的气化潜热，燃料燃烧后不断供给中间介质燃烧热量，从而形成动态热平衡。
安装使用：
1、参照图纸提供的真空炉平面布置、安装位置和土建条件，选好设备安装地点并进行土建施工。安装地点应无烟尘污染，环境清洁，空气干燥，不应与其他设备等放在一起，保持室温10-35℃，地面平整光洁。
2、安装石墨电热元件和水冷电极时，应注意：
a.拿石墨元件时要极为小心，以防损坏；
b.要可靠地拧紧螺栓，以达到良好的电接触，不要用力太大，避免螺纹断扣。
3、按真空系统图将真空系统定位，组装并与炉体连接。装配时把O型密封圈涂上一层薄薄的真空油脂，均匀地拧紧法兰。
4、按水冷系统图，将进水管与排水管分别接到炉子的进、排水口上，提供压力为0.1-0.15MPa，温度不低于15℃，不高于30℃的水源，提供循环水、防锈水。
5、提供压力小为0.5MPa的气动气源，可用工业氮气，如用压缩空气，则自备气动“三大件”（如油雾气、减压器、分水滤气器）。
6、按回充气体系统图将管路接至回充管路上，并建议提供纯度为99.99%—99.999%的高纯度氮气作为回充气体。
7、按电气接线图把电源接到相应的电接点上，校核电源电压，连接控制箱，动力箱和炉体间的电线电缆。
8、安装其余零部件，包括导管、测量仪器仪表等。
9、炉体和控制箱均接地，接地电阻≤4欧，仪表和真空计的规管电缆也应接地。