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浅述小型甩带机的开关机操作

来源:极托仪器2022/4/18 20:10:04314
导读:

一、小型甩带机的开机
  1.开总电源:将对面墙壁上左边的电源闸刀向上拨至“on”;
  2.开冷却水:将设备后水管总开关扭至与水管平行,并将两个水阀逆时针旋转45°;
  3.开机械泵:按下机械泵开机电源按钮,等待2分钟,待系统内空气抽净;
  4.开扩散泵:按下扩散泵开机电源按钮,等待50分钟,待扩散泵预热*;
  5.开铜辊电机:按下电机“调速”电源按钮,并按变频器上的“run”一次,运行变频器;
  注意:预热时务必确保机械泵和扩散泵阀门处于关闭状态。
  6.小型甩带机开腔门:将腔体右侧的氩气充气阀顺时针旋转90°,给腔体充氩气使气压表指针指向“0”并关上阀门,然后利用扳手松开螺丝并将腔门打开。
  二、小型甩带机的关机
  1.清理内腔:
  ①顺时针旋转变频器上的变频旋钮至铜辊转速为5m/s;
  ②用沾有丙酮的纸巾擦拭铜辊外径表面;
  ③用金相砂纸轻轻擦拭外沿;
  ④重复第②步;
  ⑤逆时针旋转变频器上的变频旋钮至铜辊转速为“0”;
  ⑥用沾有丙酮的纸巾擦拭腔体其他地方。
  2.关腔门:关上腔门,并用扳手紧固螺丝;
  3.按变频器“stop”使变频器关;
  4.按起“调速”电源按钮;
  5.按起扩散泵电源按钮;
  6.拉出机械泵拉杆抽低真空至气压表指示为“-0.1”后在推入拉杆;
  7.等待一小时后关闭机械泵电源按钮;
  8.关闭冷却水阀;
  9.将总电源闸刀拉下至“off”。

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