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实现突破！国产化台阶仪成功面世

来源：化工仪器网2022/6/27 9:33:17115

导读

JS100A台阶仪采用了金刚石探针，提供了两个彩色摄像头对样片和针尖同时成像，可清晰准确找到测试位置，实现无畸变观察样品区。

　　台阶仪(Profiler)，一种接触式表面形貌测量仪器，因为精度高、量程大、测量结果稳定可靠、重复性好等优点，在微电子、半导体、太阳能、高亮度LED、触摸屏、医疗、科学研究和材料科学等领域，被广泛用于样品表面从微米到纳米尺度的轮廓测量。而就是这样一种常见且关键的测量设备，一直以来却被美国Bruke、美国KLA、日本Kosaka三家厂商垄断，国内处于一个无同类国产产品可用的状态。

　　进口台阶仪受限带来的是越来越多国内半导体企业对于国产台阶仪的迫切需求。而就在今年，这一情况被打破了。2022年6月，安徽泽攸科技有限公司推出了自主研发的全国产化台阶仪JS100A，国产化台阶仪至此也实现了重要突破。

　　JS100A台阶仪采用了金刚石探针，提供了两个彩色摄像头对样片和针尖同时成像，可清晰准确找到测试位置，实现无畸变观察样品区。同时，在实时扫描过程中，JS100A能自动切换辅助显微镜，进一步保障扫描的准确性。

　　而在核心技术方面，JS100A实现了3个突破，即“大行程超平面扫描技术”“大行程压电陶瓷驱动快速进针技术”“大带宽大行程纳米微动台技术”，这三大突破也让台阶仪具备了超精细的运动控制，超精密位移传感，超低噪声信号采集。

　　此外，从仪器商品的角度来说，JS100A台阶仪作为全国产化台阶仪，售价会远低于进口产品，可以降低用户的采购成本，并且相对的，能够提供更加完善便携的售后服务，给用户带去更多便利。

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