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SK海力士加速量产第四代内存:新旧工厂齐上EUV光刻机

来源:快科技2020/11/27 9:49:3349
导读
目前,EUV光刻机的部署安装主要在台积电、三星的晶圆代工厂。不过,内存厂商们也开始着手上马了。
  目前,EUV光刻机的部署安装主要在台积电、三星的晶圆代工厂。不过,内存厂商们也开始着手上马了。
 
  此前,SK海力士规划的是为年底建成的M16工厂配备,但来自德国CB的消息称,M14老厂也会引进。
 
  EUV光刻机参与的将是SK海力士的第四代(1a nm)内存,在内存业内,目前的代际划分是1x、1y、1z和1a。
 
  EUV光刻机的参与可以减少多重曝光工艺,提供工艺精度,从而可以减少生产时间、降低成本,并提高性能。
 
  当然,EUV光刻机实在是香饽饽。的制造商ASML(荷兰阿斯麦)产能极有限,尽管一台要10亿元左右,可仍旧供不应求。这一回新老工厂其上位,不知道SK海力士从ASML那里敲定了多少台。
 
  另外,本次报道称,三星2021年将投产EUV工艺生产的内存,也就是早些时候发布的16Gb容量LPDDR5。
 
  原标题:SK海力士加速量产第四代内存:新旧工厂齐上EUV光刻机

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