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第十四届纳博会盛大举行泽攸科技携前沿创新成果惊艳亮相

来源：化工仪器网2024/10/29 8:40:1132

导读

安徽泽攸科技有限公司(简称“泽攸科技”)作为参展企业之一，携其自主研发的ZEM系列台式扫描电子显微镜、JS100B台阶仪和干式液氦温区探针台亮相展会。

　　2024年10月23日至25日，第十四届中国国际纳米技术博览会在苏州举办。此次盛会重点聚焦纳米新材料、微纳制造、第三代半导体、纳米压印、纳米大健康、能源与清洁技术、纳米生物技术等产业领域，再次吸引了全球纳米技术领域的顶尖专家、学者和企业代表齐聚一堂，共同探讨纳米科技的最新进展和未来发展趋势。

　　
安徽泽攸科技有限公司成立于2016年，拥有安徽铜陵、北京、上海和东莞四家分公司，是一家具有完全自主知识产权的精密仪器高科技公司。公司专注于扫描电镜、原位测量系统、台阶仪、探针台、电子束光刻机等精密设备的研究，填补了国家在高端精密仪器领域的诸多空白。

　　安徽泽攸科技有限公司(简称“泽攸科技”)作为参展企业之一，携其自主研发的ZEM系列台式扫描电子显微镜、JS100B台阶仪和干式液氦温区探针台亮相展会。

　　ZEM系列台式扫描电子显微镜

ZEM系列台式扫描电子显微镜

　　泽攸科技专注于桌面级扫描电镜研发制造，ZEM 系列扫描电镜具有体积小巧、移动便捷、维护方便、环境适应能力强等优点。泽攸ZEM察列扫描电镜采用全中文交互系统，界面简洁清晰，功能丰富全面，操作方便怏捷。泽攸 ZEM 系列扫描电镜内置光学摄像头，进样时拍摄导航图片，鼠标点击导航图片任意位置，样品台即会实时连动导航，快速找到样品对应的区域。

　　泽攸ZEM系列扫描电镜采用预对中钨灯丝，自带韦氏帽，灯丝已做好预对中，并已发射验证，降低灯丝更换难度。泽攸ZEM系列扫描电镜提供两轴、三轴、五轴样品台，可实现多个轴的运动和组合，灵活性高，为测试样品提供更为精准的位置坐标，方便精确的测定样品。深攸ZEM系列扫描电讓可造配低真空模式，可在1-60Pa自由切换。对于不导电样品可不喷金快速检测，避免喷金对部分样品表面形貌，能谱(EDS)测试的影响与干扰。

　　JS100B台阶仪

　　国产半自动台阶仪JS100B/200B/300B，拥有高精度、高分解能力，搭配一体花岗岩结构，提供稳定、可靠的重复性测量。JS100B提供两个彩色摄像头对样品和针尖同时成像，可无畸变的观察样品区，方便定位特征区域，同时探针扫描时可实时观察扫描区域。

　　JS100B台阶仪量测精确、功能丰富、一体式集成、模块化设计、售后便捷、极高性价比，应用于刻蚀、沉积和薄膜等厚度测量；薄膜多晶硅等粗糙度、翘曲度等材料表面参数测量；各式薄膜等应力测量；3D扫描成像。

　　干式液氦温区探针台

　　干式液氦温区探针台真空度优于6×10-4 Pa，降温后优于6×10-5 Pa。探针台留有2个用户法兰接口(KF40可接入气体或者额外的电缆)、标配6个探针臂，调节范围110mm*50mm*30mm，精度优于10um。每个探针臂配一根Triax三同轴低漏电线缆及探针，样品台底座配备额外一根Triax三同轴低漏电线缆。

　　干式液氦温区探针台的显微镜模块配备连续变倍单筒显微镜，光学放大倍率为0.5X~3. 75X(使用0. 75X附加物镜时)，视频放大倍率约700倍，可选2X附加物镜，分辨率优于2um。配备全高清数字摄像头，带同轴照明和环形照明，带机械调焦和光学调焦；变温样品台直径标配50mm，可选配150mm。变温范围为6K~400K，控温稳定性优于±0.01 K；可选配接入光纤，可将一根或几根电学探针替换为光纤；系统直流漏电低于1pA；产品含进口分子泵机组、全量程真空规和智能温控仪。

　　此次展会不仅展示了泽攸科技在纳米技术领域的最新成果，也为公司与行业内其他企业和专家的合作提供了良好的契机。在展会期间，泽攸科技的展位吸引了众多行业专家和企业的参观和交流。泽攸科技将继续致力于高端科学仪器装备的研发和生产，为科研和生产提供更加先进的工具和设备，为技术创新和产业发展贡献更多力量。

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