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岱美仪器精彩亮相CIOE中国光博会，展示光学测量创新成果

来源：化工仪器网2024/9/15 14:15:2061

导读

本次岱美仪器受邀参加本次光博会，携带多款产品参展，在展会现场大放异彩。

　　中国国际光电博览会(以下简称“CIOE中国光博会”)是专注于光电行业的国际知名展览会，自1999年创办以来广受业界好评，展会规模不断扩大。2024年9月11日至13日，第二十五届CIOE中国光博会在深圳国际会展中心盛大举行。本次展会展厅多达12个，展示面积超24万平方米，吸引了全球超过3700家优质企业参与。

展位现场

　　岱美仪器技术服务(上海)有限公司成立于1989年，是一间拥有多年经验的高科技设备分销商，主要为数据存储、半导体、光通讯、高校及研发中心提供各类测量设备、工序设备以及相应的技术支持，并与一些重要的客户建立了长期合作的关系。本次岱美仪器受邀参加本次光博会，携带多款产品参展，在展会现场大放异彩。

展会现场

　　岱美在中国大陆地区主要销售或提供技术支持的产品：晶圆键合机、纳米压印设备、紫外光刻机、涂胶显影机、硅片清洗机、超薄晶圆处理设备、光学三维轮廓仪、硅穿孔TSV量测、非接触式光学三坐标测量仪、薄膜厚度检测仪、主动及被动式防震台系统、应力检测仪、电容式位移传感器等。本次岱美展示了QuickPRO精密计量产品和FR-ES：用于薄膜表征的精巧型系统等产品。

　　QuickPRO精密计量产品

QuickPRO精密计量产品

　　精密加工、PCBs、ASICs和光学(球面、非球面、衍射、微透镜、注塑、薄膜)的高速表面检测OATI的QuickPROIM计量系统利用多达两个相对的彩色共焦光学传感器来提供非接触式z轴测量精度低于50nm，空间数据采样低至2μm。此外，对于表面计量中最敏感的应用，我们还提供干涉版(QuickPROTMOCT)用于超敏(<5nm)应用。

　　QuickPRO"精密计量产品的单传感器平台(QuickPROTM RPS和QuickPROTM 3D)为您提供了一个简单、可靠、具有战略意义的高精度表面计量基准，而我们的双传感器平台(QuickPROTM CUBE-Mini和QuickPROTM CUBE-100)允许在不需要移动被测单元的情况下进行双面表征，其优点是增加了测量楔形和表面偏心的能力。

　　QuickPRO"精密计量产品为紧凑型台式装置，带集成外壳和隔振操作；纳米级精密直线电机载物台，用于定制扫描程序，覆盖范围可达150毫米(200毫米扫描能力正在开发中)；Al/机器人兼容的控制软件，实现全自动化能力；利用超灵敏数据可视化识别地表变化的点云分析程序；高动态范围检测程序，用于表征与法线成45度角的表面。

　　FR-ES：用于薄膜表征的精巧型系统

FR-ES：用于薄膜表征的精巧型系统

　　FR-ES用于薄膜表征的精巧型系统配件包括：滤光片可适用光刻胶测量、FR-Mic用于微米级别区域测量、各种手动/自动载物台等，100x100mm或200x200mm、用于吸光度/透射率和化学浓度测量的薄膜/比色皿支架、用于漫反射和全反射的积分球、API二次软件开发、接触式探头-ST是用于弯曲样品反射率膜厚测量的独特附件等。

　　FR-pOrtable: USB供电膜厚仪现场适配器：用于在需要点进行测量；透射模块：用于测量涂层的透射和吸收光谱、涂层厚度等；手动XY平台：用于表征多个位置的涂层(手动移动)。

　　LAS-P-VIS™ 定心仪（偏心仪）

LAS-P-VIS™ 定心仪

　　LAS-P-VIS™定心仪是一个中等大小的非接触式透镜对准和检测仪，从地面开始设计，用于单元件、双透镜、三重透镜和多元件透镜组件的精密透镜集中和倾斜测量，半径范围从+/-1mm到无限远(平面)，直径从1mm到300mm，包括球面、非球面、圆柱形和抛物面。所有这一切都可以用一个单一的物镜，允许快速和简易的测量。

　　LAS-P-VIS™定心仪为中型、实心花岗岩结构，刚性被动隔振架；测量小到中等直径透镜和组件(约300毫米)；高功率绿色(520nm)激光器，光纤耦合到光模块；90毫米工作距离(WD)物镜，带有附件快速连接螺纹；用户友好的CalcuLens™组装软件和符合ISO标准的数据报告功能；亚微米级对中精度。

　　多功能紫外纳米压印光刻系统EVG7300

　　多功能紫外纳米压印光刻系统EVG7300是一个基于模块化和改进的SmartNIL模块的独立系统，可以根据处理和自动化水平进行配置。EVG7300支持从150毫米到300毫米的晶圆尺寸，具有低至300纳米的高精度对准，先进的过程控制和高吞吐量，可以满足各种自由形状和高精度纳米和微光学元件和器件的先进研发和大批量制造需求。

　　这一产品旨在服务广泛的新兴应用，包括微和纳米压印以及功能层的紫外线堆叠。该设备可以增强晶圆级光学，纳米光子学，超表面和生物医学芯片的工艺性能，可适用于自动驾驶，汽车和装饰照明中的微透镜阵列和投影仪，生物识别认证的衍射光学器件以及复杂元透镜。

　　岱美仪器技术服务(上海)有限公司凭借其卓越的产品与技术支持，在展会中赢得了广泛赞誉与关注。QuickPRO精密计量产品和FR-ES精巧型薄膜表征系统的精彩亮相，不仅展示了岱美在光学测量领域的深厚底蕴与创新实力，更为行业带来了全新的技术视角与解决方案。未来，岱美仪器将不断推动光学测量技术的创新与发展，为全球客户提供更加精准、高效、全面的测量解决方案。

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