上海光机所在干涉仪波前校准方法研究方面取得进展
来源：上海光学精密机械研究所2024/7/24 8:34:1038
导读
高精度光学元件已经充分应用于激光技术、光学通信、医学影像、天文学和空间探测、半导体制造和科学研究等领域。使用干涉仪是目前高精度光学检测的主要方法。
近期，中国科学院上海光学精密机械研究所高端光电装备部研究团队在干涉仪测试的波前校准方法研究方面取得进展。相关研究成果以“High precision wavefront correction method ininterferometer testing”为题发表于Optics Express。
高精度光学元件已经充分应用于激光技术、光学通信、医学影像、天文学和空间探测、半导体制造和科学研究等领域。使用干涉仪是目前高精度光学检测的主要方法。为了得到测试元件真实的面形误差，须采用波前校准方法对干涉仪测试波前误差进行校准。然而，目前没有针对光学加工过程中的波前校准的完整方法。
本项工作中，研究团队针对斐索干涉仪测试中波前误差与实际表面误差之间的差异，提出了一种新的高精度光学表面波前校正方法。主要内容包括光学表面函数参数拟合、横向失真校正、错位误差消除和凹陷表面误差计算。并从函数参数拟合、射线追踪、插值等方面对该方法的误差进行了深入分析。零位测试配置中离轴抛物面镜的波前校准证明了该方法的有效性。结果显示，实验产生的环形误差显著减小，离轴方向误差从0.23λ提高到0.05λ(λ=632.8nm)，非球面偏离的PV超过8.5mm。该研究在高精度光学元件检测过程中有重要意义。
图.1 环带误差产生
图.2 环带误差修复结果
版权与免责声明：凡本网注明“来源：兴旺宝”的所有作品，均为浙江兴旺宝明通网络有限公司-兴旺宝合法拥有版 权或有权使用的作品，未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用上述作品。已经本网授权使用作品的，应在授权范围内使用，并注明“来源：兴旺宝”。违反上述声明者，本网将追究其相关法律责任。 本网转载并注明自其它来源（非兴旺宝）的作品，目的在于传递更多信息，并不代表本网赞同其观点或和对其真实性负责，不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时，必须保留本网注明的作品第一来源，并自负版权等法律责任。 如涉及作品内容、版权等问题，请在作品发表之日起一周内与本网联系，否则视为放弃相关权利。
展开全部热门评论