| 采购项目 | 采购需求概况 | 预算金额 | 预计 |
| 全场非接触扫描三维振动测试系统、多自由度微纳位移驱动传感测试标定系统 | 834.1 | 2026年5月 | |
| 中心偏差测量仪、高精度折射率测量仪、超精密定心车与单点车、紫外至近红外分光光度计等 | 1398 | ||
| 宽光谱MTF测量仪、可见光至短波红外光谱扫描成像系统、中波红外光谱扫描成像系统、小型六足并联调整台、多自由度双工件台系统等 | 1202 | ||
| LDLS高亮宽谱光源、高精度六足并联调整台、300mm离轴反射式平行光管、可见光平行光管等 | 525 | ||
| 266nm紫外干涉仪、四维精密运动台、高速旋转扫描台、高功率深紫外激光器、高功率紫外连续激光器等 | 1345 | ||
| 瞬态光致发光光谱测试仪,圆偏振发光光谱仪,圆二色谱仪,超景深光学显微镜,FIB-SEM双束电镜 ,台阶仪,超导磁体探针台,电感耦合等 | 2391 | ||
| 掺杂设备、深硅刻蚀设备 | 2650 | ||
| MEMS晶圆片测试、封装、MEMS传感器芯片参数测试、可靠性测试等相关设备 | 2721 | ||
| 管热炉、湿法蚀刻、匀胶显影、干法蚀刻、薄膜沉积等 | 4423 | ||
| 高分辨拉曼光谱仪、扫描电镜与超快光学联用模块、超快瞬态吸收模块、飞秒激光光源、低温光电测试基台、高速相机 | 1315 | ||
| 高性能示波器和矢量网络分析仪、激光干涉仪等 | 1300 | ||
| 光谱反射率及发射率测试仪、红外热像仪、红外光谱辐射计、可见近红外光谱辐射计、短波红外光谱辐射计、振动模态测试分析系统等 | 660 | ||
| 振动台、高低温试验类设备、真空罐、光学相机测控温系统等 | 1100 | ||
| 辐射响应测试装置、光谱定标、积分球光源、真空低温黑体、相机地检及成像测试系统、相机转台等 | 1300 | ||
| 气浮光学平台、焦面拼接仪、大口径平行光管及平面镜、光学相机智能集成测试系统等 | 2700 | ||
| 集成设计仿真硬件、动态干涉仪、600mm口径平行光管、镜头智能化装调测试系统等 | 1200 | ||
| 傅里叶变换红外光谱仪 | 220 | ||
| 磁控溅射与手套箱互联系统 | 105.5 | ||
| 波长色散X射线荧光光谱仪 | 260 | 2026年8月 | |
| 紫外可见近红外分光光度计 | 160 | ||
| 激光粒度分析仪 | 140 | ||
| 纳米粒度及电位分析仪 | 125 | ||
| 波长色散X射线荧光光谱仪 | 260 | ||
| 台式X射线吸收精细结构谱仪 | 350 | ||
| 原位高分辨场发射扫描电子显微镜 | 980 | ||
| 合计 | 29664.6 |
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| 来源:中国政府采购网 整理:化工仪器网 | |||
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