分析性能

●表面元素定性、定量分析

    能量分析器设计和双晶微聚焦单色化X射线源结合，实现了能量分辨率

●快速高分辨平行成像

    化学成像: 空间分辨率优于1um

    回溯成谱: 回溯区域优于6um

●无需背底修正探测器

    电子倍增器和电阻阳极探测器的双探测器设计，可实现高性能的XPS采谱和高空间分辨的XPS成  像的需求。

    空间连续的电阻阳极探测器创新技术，使得XPI成像分辨率达1um，同时所得数据无探测器背底特 征，无需背底校正，直接得到微米尺度分辨的定量元素分布成像结果。

●微聚焦单色源

    分析尺寸在20μm～900μm之间连续可调

   灵敏度和能量分辨率

    提供不少于20个靶材工作点，确保仪器终身使用过程中阳极靶无需更换

●自动化高效离子剖析源

    新型Ar离子团簇与传统单粒子离子源相结合，用于各类材料的深度剖析研究

●高精确度角分辨XPS

    软件控制分析位置和角度，确保数据的精确性和重复性

    全套的ARXPS数据处理工具，可对纳米尺度的多层结构器件进行层厚计算

●一键式荷电补偿

    配有双束电荷中和系统，可以根据实际样品的需要独立控制开启。

   适用于所有不导电样品及粗糙表面的精准荷电中和

●强大的Avantage分析软件

    全数字化仪器控制

    系统软件可视化操作

    全套XPS标准数据图库以及化合物结构鉴定数据库

    自定义数据采集到报告生成模式

操作简便

●高度自动化

    分析区域和角度分辨可选

    自动化气体调节和真空控制

●随时校准

    能量标尺和仪器功函数的校准

    离子枪定位和离子束聚焦

●鼠标点击式样品导航

    实时显示分析位置

    高照明强度、强度可调

设计灵活

●ISS、ARXPS与REELS为标准配置

●多功能进样室为标准配置

●UPS和EDS/AES/SEM/SAM/可选

●可选的样品预处理附件，包括：

    样品制备台、晶体清洁器、样品刮片器

    样品加热/冷却装置

    溅射清洁离子枪

    蒸发器

    高压反应室