中图仪器(chotest)SuperView W1中图仪器中图仪器 非接触3d光学轮廓仪

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2023-09-27 14:37:55
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深圳市中图仪器股份有限公司

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产品简介

中图仪器SuperViewW1非接触轮廓仪是一款用于对各种精密器件表面进行亚纳米级测量的检测仪器,采用光学非接触式测量方法,具有测量参数齐全、分析功能强大、使用方便、测量精度高等特点,并且其的光源模式,保证了它能够适用于从光滑到粗糙等个精密器件的表面质量检测

详细介绍

中图仪器SuperView W1非接触轮廓仪是一款用于对各种精密器件表面进行亚纳米级测量的检测仪器,采用光学非接触式测量方法,具有测量参数齐全、分析功能强大、使用方便、测量精度高等特点,并且其的光源模式,保证了它能够适用于从光滑到粗糙等个精密器件的表面质量检测。

场景一:粗糙的特征表面
整体尺寸在7mm左右的涂覆在电极棒的催化剂表面全景图,整体的轮廓尺寸和微观的轮廓起伏反映了涂覆的质量。根据精度要求,可将重建算法切换为高速扫描的FVSI重建算法,并可依据表面粗糙程度,选择不同步距进行速度调节。
 

场景二:超光滑的弧形表面
旋转抛物面零件表面具有超光滑、高反、凹面弧形特征,用于微小位移和角度检测,针对其凹面弧形的检测需求,现有的显微测量仪器中,原子力显微镜和共聚焦显微镜,均分别因有损测量或分辨率不够的原因而排除,只有以白光干涉为原理的光学3D表面轮廓仪,能同时满足无损、超高分辨率、耐高反等条件。
 

针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求,中图仪器SuperView W1非接触轮廓仪的复合型EPSI重建算法,解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下,只需要确定起点和终点,即可自动扫描,重建其超光滑的表面区域,不见一丝重叠缝隙。

场景三:粗糙的有孔洞特征平面
手机插卡槽处的金属薄片模块,需要测量不含凹面区域的表面轮廓和平整度,因其表面较为粗糙且了测量区域,可使用高速FVSI算法,并在拼接测量设定时,使用地图导航功能,在扫描时即可自动跳过凹面区域完成其余整体形貌的拼接测量。
 

中图仪器SuperView W1非接触轮廓仪,可根据不同表面特点进行重建算法的切换,无论何种形貌,都可生成3D全景。
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