真空室镀膜指纹显现柜

产品结构：

A:真空室

A1间歇式马蹄形前开启门

1. 真空腔体材质，SUS34L不锈钢板
2. 真空腔体表面、内外抛光电解处理
3. 真空腔体尺寸：450x450 x400mm
4. 14寸强化玻璃观测窗，内部含有方形防镀玻璃
5. 腔体内部不锈钢防污衬板
6. 腔体粉底烤漆支架

真空室镀膜指纹显现柜

B1镀膜腔体全领域冷阴极真空计

1、真空测量范围：1000to 5*109torr

2、法兰形式接头

3、操作接口：RS232 1/0

4、B2 镀膜腔体电容式真空计

5、真空测量范围：1torr 全尺寸范围

6、法兰接头：NW25

1. 精确度：0.5%
2. 分辨精确度：0.001%
3. 压力限制45Psig

10、输入功率：+/-15VDC/35MA

11、输出信号：0---10VCD/10欧姆

12、B3扩散泵抽气管路真空压力侦测计

14、额定压力范围：0.0—101.3千帕

15、操作/设定压力范围：10.0to—103千帕

16、zui大承受压力：500千帕

17、电源压力：12to24伏直流电

18、电源消耗≤55Ma

19、NPN集电极开路2路输出+模拟输出
 

C：阀门

1、14寸高真空气动式主阀门

1. 腔体气动式粗抽阀
2. 腔体气动式前级阀
3. 机械泵自动泄气阀
4. 腔体气动泄气阀

6、锌气动阀+针阀调整器

D：金、锌蒸发源

1、两个热电源开关分别为：220-7.5V，350A

2、10转精密输出控制输出功率

3、4—1/2数字显示表

4、可程序控制温度，来控制是否挥发金和锌

E：膜厚计

1. 测量速度：0.1 秒
2. 速率显示分辨率：0.02AL
3. 多功能LED和LCE显示屏
4. 变量：6参量每秒
5. 操作接口：RS-232

F 载台:

1. 半圆柱可抽取上掀载台450*400mm

2. 公转载台及调速装置5—20转速

G：冰水机

1. 冷冻能力：12000热量/小时
2. 谁泵浦马力：0.5
3. 水流速率：30（L/MIN）
4. 水箱容量：26L
5. 冷媒：R134A

H：软件功能

1. PLC可程序逻辑控制器及12寸彩色触控式人机屏幕
2. 系统控制接口具有参数设定，系统履历，异常讯息，系统权限登入，自编参数设定，自动/手动抽气控制等功能选项,所有阀门帮浦互锁安全保护
3. 系统控制权限设定具有低阶,中阶,高阶三种权限模式,分别以不同的操作方式来操作系统

4、系统参数设定具有系统控制权限密码功能设定,各式阀门延迟开启,关闭时间,设定及各项异常状况侦测状态功能警示设定