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在波长1到100-nm范围使用*多的仪器是型号为248/310G 的一米焦距掠入射光谱仪. 这一仪器设计合理, 操作简单,工作于软X射线谱段. 与之功能相近的是焦距为2.2米、型号为247的同类产品,同时我们亦可提供其他各种焦距的同类产品. 单色仪通过出口狭缝在罗兰圆上的移动来选择扫描波长. 罗兰圆的外径等于光栅的曲率半径.
该设备配备单个光栅提供覆盖1至 310nm光谱范围;采用133.6g/mm的光栅对光谱仪的一致性进行校准的工作可以在大气环境下来完成。符合运动学原理安装的光栅保证了在光栅更换后的仍可以精确复位。
光栅室材质为不锈钢,配备了一个标准的4.5英寸金属密封的泵接口。该光栅室提供了符合运动学光栅固定架、可在真空中根据不同光栅的曲率进行微米级调节的装置、滤光片及孔径光兰、入射狭缝、出射狭缝及可选的滑动滤光片固定架。
248/310G型可以用于单通道扫描或连接多通道探测器(如多道像增强器或CCD), 亦可作为Extreme UV或者Soft X-ray的单色光源.不管哪种方式,均为带o-ring密封的真空系统或全金属密封的超高真空系统.
当248/310G用作扫描单色器时,可以得到*佳分辨率和*宽的波长覆盖范围. 出口狭缝通过密封焊接的波纹管装置连接到光栅室,可以在光栅中心50mm范围内扫描. 采用88度入射角,扫描精度可以达到0.98nm.
使用 789A-3型扫描系统 (36,000 steps /rev.) 步进距离为0.0004",与波长有密切关系的参数还有光栅刻线密度和入射角度. 双边可调的入射狭缝 (5-500um)固定在光栅室上. 罗兰圆上移动的狭缝可由精确的千分尺调节. 狭缝装置上带有安装真空阀,进气阀,粗抽阀的接口.为提高在工作波长小于30nm时的性能,使用金属过滤波片以滤出散射和低能光,用于*高能量/*短波长时,应使用VYNS型滤光片。
技术参数
焦距 | 1m, 掠入射单色仪 |
f /NO. | 44 |
光栅尺寸 | 25 x20mm |
入射和出射光束夹角 | 176°to 157° |
波长重复性 | +/- 0.005 nm (使用1200 G/mm光栅) |
真空度 | 10e-6 Torr, O型密封圈 10e-9Torr,全金属密封(选项) |
焦平面 | 40mm或25mm扫描范围 |
波长范围 | 根据所选的光栅而定 |
光栅 (G/mm) | 3600 | 2400 | 2160 | 1800 | 1200 | 600 | 576 | 300 | 133.6 |
波长范围从1-nm to | 10nm | 17nm | 19nm | 23nm | 35nm | 70nm | 73nm | 140nm | 310nm |
光栅闪耀角 | Holo | Holo | 1-deg | Holo | Holo | Holo | 1-deg | 2-deg | 2-deg |
1-deg | 2-deg | 3-deg | 1-deg | 1-deg | 2-deg | ||||
2-deg 18-min | 2-deg | ||||||||
分辨率 (nm) | 0.006 | 0.009 | 0.01 | 0.012 | 0.018 | 0.036 | 0.038 | 0.072 | 0.16 |
线色散倒数(nm/mm) | 0.025 to 0.09 | 0.03 to 0.15 | 0.03 to 0.15 | 0.04 to 0.18 | 0.05 to 0.27 | 0.08 to 0.34 | 0.08 to 0.34 | 0.16 to 0.7 | 0.4 to 1.6 |