扫描电镜等离子清洗机

扫描电镜等离子清洗机

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具体成交价以合同协议为准
2023-09-14 17:11:16
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华仪行（北京）科技有限公司

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产品简介

CIF 扫描电镜（SEM）等离子清洗机采用远程、原位双等离子清洗源设计，并可自动切换，一机多用。远程等离子体清洗快速高效低轰击损伤，同时可实现常规等离子清洗。主要用于SEM或FIB等电镜腔体内碳氢化合物的清洗。主要参数：CIF 扫描电镜（SEM）等离子清洗机采用远程、原位双等离子清洗源设计，并可自动切换，一机多用。远程等离子体清洗快速高效低轰击损伤，同时可实现常规等离子清洗。主要用......

详细介绍

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产品特点

v 双等离子清洗源

v 一机多用

v 高效低损伤

 

技术参数

产品型号

CIF-SEM

法兰接口

KF40

工作气压

0.3-3Pa

等离子电源

13.56MHz射频电源，射频功率5-100W可调，自动匹配器

气体控制

标配双路50毫升/分气体质量流量控制器（MFC），精确测量自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响

气源选择

根据需求可选择氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源

真空控制

美国MKS公司925-12010皮拉尼真空计，测量范围1E-5Torr

真空保证

真空计和电磁阀安全互锁

操控方式

7寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面

电源/功率

220V，50/60Hz，300W

可选配件

可选氧气、氮气、氢气发生器， 氢气纯度﹥99.999％，输出流量0-300ml/min 

质量保证

二年质保，终身维护


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