SAT-5D粉末等离子清洗机主要应用：

1.表面清洁

2.表面活化  

3.键合  

4.去胶  

5.金属还原  

6.简单刻蚀  

7.去除表面有机物  

8.疏水实验  

9.镀膜前处理等

SAT-5D粉末等离子清洗机主要特点：

1．实时检测和显示真空度，真空度准确使得机器在智能控制下有了可靠的依据

2.自动模式下，真空启动值可以自由设定，（范围：20—80帕），这样就为外加气体提供了可靠的辉光启动环境，使得辉光保持99%纯度，有力的保证了实验效果的准确性和可靠性.

3．舱体、管路、阀体全部为不锈钢材料，耐用防低腐蚀

4.采用电容式 Plasma激发，实验效果稳定，均匀可靠

5．采用薄膜按键+液晶屏显示控制，手动，自动两种模式任意切换

6．程序化设计，预先编辑好程序，仪器自动完成实验

7.无需任何耗材，使用成本低，无需特殊进行维护，在日常使用中保持仪器清洁即可，密闭真空环境下完成实验避免二次污染

技术规格：

1、舱体尺寸： 230X150（直径）mm ，材质：不锈钢

2、内置转鼓,载物装置方形石英瓶尺寸：110*60毫米,建议装料1/5到1/4比较合适

3、转鼓转速设置六档可调（单位：转/分）：1档位：2.5    2档位：5    

    3档位：7.5     4档位：10    5档位：12.5       6档位：15

4、频率：13.56MHz 频率偏移量＜0.2MHz  电源220V/50Hz

5、射频功率:150W，10到150W无极可调，精度：1瓦

6、气路设置：三气路（两路进气，一路放空），可以选配内置MFC控制,

     气体稳定时间：1分钟  

基本配置：

主机 + 真空系统（真空泵 油雾过滤器  真空管  法兰） + 外加气体软管   样品托盘 + 说明书 + 电源线 + 合格证