供气系统 GSL-LCD

供气系统 GSL-LCD

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-09-28 16:58:06
20
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合肥科晶材料技术有限公司

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产品简介

型号: GSL-LCD 产品概述: GSL-LCD是一款低成本的流量计控制系统,其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里,移动柜可以承重1000Lbs,与本公司大多数管式炉配套使用时,可将管式炉置于移动柜上上以节约空间。各通道气路的流量设定和状态显示都集中在一个6″的LCD触摸屏上,便于操控的同时,可实时查看气体流量曲线和数据。此款设备广泛应用于材料接种CVD实验和各种材料的退火实验.

详细介绍

设备名称型号

供气系统GSL-LCD

产品特点

· 适用于低压小流量,多种气体单一/混合连续供气系统。尤其方便多重气体的切换使用,而不会造成大气进入加热管

· 气体压力和流量数据在同一平面直观可读,外形美观、实用,操作简便

· 采用触摸屏来控制气体的流量,显示流量准确,方便操作

· 所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接,便于维修拆卸

基本参数

· 电源:AC 220V 50HZ

· 功率:23W

产品

二通道

三通道

四通道

五通道

工作温度

5-45℃

5-45℃

5-45℃

5-45℃

压力

3*10-6Pa

3*10-6Pa

3*10-6Pa

3*10-6Pa

精度

±1.5% FS

±1.5% FS

±1.5% FS

±1.5% FS

重复精度

±0.2% FS

±0.2% FS

±0.2% FS

±0.2% FS

 

 

流量范围

一路:1-100CSSM

二路:1-200CSSM

 

一路:1-100CSSM

二路:1-200CSSM

三路:1-500CSSM

 

一路:1-100CSSM

二路:1-200CSSM

三路:1-200CSSM

四路:1-500CSSM

一路:1-100CSSM

二路:1-200CSSM

三路:1-200CSSM

四路:1-500CSSM

提示

其他流量范围可定制(1-1000、1-2000、1-5000SCCM等),需额外付费

5-9通道可按客户要求定制


PLC触摸屏

· 各通道的气路设定和查看都集中的6″的触摸屏上

· RS485通讯接口通过信号线连接在电脑上,可在电脑上进行远程控制

图片1.png  图片2.png

机械压力表与混气罐

· 有一机械压力表安装在前面板上,与混气管相连接

· 压力表量程:-0.1~0.15MPa

· 混气罐尺寸:φ80*120mm

通气管道与截止阀

· 内部连接管道为1/4″不锈钢管和四氟管

· 外部连接管道为1/4″四氟管连接气瓶

· 控制阀门为316不锈钢双卡套角式穿板截止阀

产品尺寸

外形尺寸:长600mm*宽745mm*高700mm

图片3.png

重量

25kg

保质期

1年(不包含损耗件)终身维护

注意事项

· 每只气瓶必须保留0.5MPa的余压。

· 减压阀应采用调控范围再0.020.25Mpa的专用气体减压阀

· 不得通氯化物、硫化物、氨气等易腐蚀的气体,否则容易损坏通气管道,混气罐等不锈钢材质的配件。由于通入腐蚀性气体而造成的设备损坏公司售后维修会收取相应的费用。

· 流量计通道采用的材料为: 00Cr17Ni14Mo2 (相当于316L 不锈钢) ,氟橡胶等为易腐蚀材料。通入的气体应无水汽、低泄漏、需勤清洗、如果要使用腐蚀性气体用户应在定货时声明。


提示

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