供气系统GSL-2Z-LCD-S

供气系统GSL-2Z-LCD-S

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-09-28 16:28:27
17
产品属性
关闭
合肥科晶材料技术有限公司

合肥科晶材料技术有限公司

免费会员
收藏

组合推荐相似产品

产品简介

型号: GSL-2Z-LCD-S 产品概述: GSL-2Z-LCD-S是一款小型的两通道质子流量计混合系统。PLC触摸屏控制各通道气路流量,并可实时查看流量数据及曲线。可与本公司各种管式炉CVD/PECVD、镀膜仪等设备配套使用,实现PVD、CVD、PECVD以及热处理等实验气氛的精准控制。

详细介绍

产品名称型号

供气系统 GSL-2Z-LCD-S

产品特点

· 适用于低压小流量,多种气体单一/混合连续供气系统。尤其方便多种气体的切换使用,而不会造成大气进入加热管。

· 气体压力和流量数据在同一平面直观可读,外形美观、实用,操作简便。

· 采用触摸屏来控制气体的流量,显示流量准确,方便操作。

· 所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接,便于维修拆卸。

基本参数

· 电源:AC 220V 50/60HZ

· 功率:100W

· 流量范围:一路:1-100 sccm

             二路:1-200 sccm(其他流量范围可定制,但需额外付费)

· 压力:0.3MPa

· 精度:±1.5%F.S

· 重复精度:±0.2%F.S

PLC触摸屏

· 各通道的气路设定和查看都集中的6″的触摸屏上

图片1.png 图片2.png

机械压力表与混气罐

· 有一机械压力表安装在前面板上,与混气管相连接

· 压力表量程:-0.1~0.15MPa

· 混气罐尺寸:直径64*长120mm

通气管道与截止阀

· 设备背面设有φ6.35的卡套接头,个为进气口,一个为出气口

· 内部连接管道为1/4″不锈钢管

· 外部连接管道为1/4″四氟管连接气瓶

· φ6.35带塑料手柄的直角针阀安装在设备前面板,控制气体的通断


产品尺寸

360mm*宽300mm*高190mm

图片3.png

重量

9kg

保质期

1年(不包含损耗件)终身维护

注意事项

· 每只气瓶必须保留0.5MPa的余压。

· 减压阀应采用调控范围再0.020.25Mpa的专用气体减压阀

· 不得通氯化物、硫化物、氨气等易腐蚀的气体,否则容易损坏通气管道,混气罐等不锈钢材质的配件。由于通入腐蚀性气体而造成的设备损坏公司售后维修会收取相应的费用。

· 流量计通道采用的材料为: 00Cr17Ni14Mo2 (相当于316L 不锈钢) ,氟橡胶等为易腐蚀材料。通入的气体应无水汽、低泄漏、需勤清洗、如果要使用腐蚀性气体用户应在定货时声明。

提示

请选择您要拨打的电话:

84351 []