▪ 结合旋转和喷涂的优点，可以在大基片上进行致密且均匀的液相涂覆

▪ 四个喷头通过触摸屏控制面板进行多层喷涂，作为程序设置。

▪ 应用包括低温沉淀（例如，用于射频/微波铁氧体沉积），聚合物涂层，粉末和复合材料涂层，以及在有图案/凹凸不平的基材上的涂层

           操作视频

▪ 真空吸盘，带有可调节的基板支架，用于固定直径为12英寸或8英寸的平基片

▪ 包括一个用于真空吸盘的无油泵，并由旋涂机面板控制

▪ 旋转速度：300-3000 rpm可调

▪ 出于安全考虑，对于大于8英寸的基片，建议将速度限制为2000rpm 

根据您的预算可选择2种类型的喷嘴：

▪ 四个压缩气体驱动喷头（图1）

▪ 用于带有超声波发生器的40KHz超声波喷嘴（图2）

▪ 包含4蠕动泵，对应4种不同的溶液

▪ 流量：0.05-380 ml / min可编程

▪ 可设定程序将4种溶液依次注入喷涂，也可同时注入喷涂

▪ 电磁阀连接到每个泵，允许注入一种溶液，其他溶液注入通道关闭，以避免交叉污染

▪ 可根据要求提供可加热的顶盖，需要额外付费

▪ 加热元件：环形卤素灯

▪ 包含高精度数字控制器，精度为+/-1ºC

▪ 工作温度：100ºC

触摸屏控制面板可以设置程序

▪ 转速：300-3000 rpm

▪ 4个蠕动泵气动的顺序：1-4

▪ 每种溶液对应工位的运行时间

▪ 循环次数

电压：208-240 VAC，50/60 Hz，

功率3000 W

70KG

▪ 用户有责任了解与过程相关的风险并使用适当的保护措施。 该过程必须限制在具有适当排气处理能力的通风橱中。

▪ 涂膜质量取决于溶液粘度，基材旋转速度，基材加热和超声喷涂参数等。建议用户尝试使用加工参数以获得结果

▪ 请勿用任何液体过度冲洗水杯/底座。 过多的液体会泄漏到电机轴中并造成损坏。使用后，请用布擦拭基座上的液体残留物。 有关清洁程序的更多详细信息，请查阅旋涂机的清洁说明。

▪ 为了获得的涂层质量，请在涂层之前考虑使用等离子清洁剂清洁基片。 它将大大降低基片上的表面张力