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「设备用途」
采用物理冶金提纯法,主要用于冶金级工业硅粉的提纯,用以制备太阳能级多晶硅原材料。
产品型号 | VEBZ-2 | |
主真空室 | 卧式圆筒型真空室,尺寸φ1000×2000mm,双层水冷。 | |
主真空室真空获得系统 | 扩散泵,罗茨泵,机械泵,高真空气动挡板阀。 | |
极限真空度 | 6.6×10-3Pa(冷态),漏率:≤1×10-7Pa.L/s;压升率:1.33Pa./h。 | |
双枪电子束系统 | 电子枪漏率:≤1×10-7Pa.L/s;工作真空度6.6×10-1Pa-6.6×10-3Pa.(用户可自己提供)。 | |
加料系统 | 加料仓设有电动给料装置,硅料块直径不大于30mm,加料仓下面设有电动进料装置,每次加料量为2kg硅料。加料仓和进料机构之间设有电动闸板阀,采用独立真空获得系统。 | |
浇铸系统 | 设有一套翻转同轴电极。 | |
出料系统 | 出料仓尺寸 | 立式U型:φ600×1000,双层水冷,独立真空获得系统。 |
料框升降机构 | 液压升降机构。 | |
水冷铜结晶器 | 内部尺寸:φ300×800。 |