品牌
经销商厂商性质
所在地
型号 | YSP63FA |
模式 | RIE(DP模式选购) |
高频输功率 | 600W |
反应台尺寸 | W385×D362mm |
内腔尺寸 | W395×D378×H45mm(内尺寸) |
反应气体 | 2进气系统(氧气、氩气) |
反应气体流量控制 | 质量流量控制器 |
真空泵 | 旋转式真空泵(约500L/min) |
气体导入口 | 反应气体2个、填充气体1个、空气1个 |
外形尺寸 | W1860×D1100×H1800mm |