等离子清洗机 YSP600U/2KU

等离子清洗机 YSP600U/2KU

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具体成交价以合同协议为准
2023-10-01 14:04:41
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柜谷科技发展（上海）有限公司

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产品简介

等离子清洗机 YSP600U/2KU

详细介绍

样品传输系统为模块式，便于组合
用途
●  提高各种材料的粘接性、表面改质处理
●  清洗各类基板。
●  电子部品、材料表面改质。
●  去除有机物和自然氧化膜。

特点
●  体积小，节省空间。
●  选用小型腔体，反应效率高。
●  更容易嵌入生产线使用。
●  可通过操作面板自由切换等离子模式。
●  配备冷却反应台。

内槽


技术规格

型号

YSP600U

YSP2KU

模式

RIE（DP模式选购）

高频输功率

600W

2000W

反应台尺寸

W300×D300mm

W600×D600mm

反应气体

2进气系统（氧气、氩气）

反应气体流量控制

质量流量控制器

气体导入口

反应气体2个、填充气体1个、空气1个


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