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面议| 测头型号 | F400 | F1 | F1/90° | F5 | F10 | ||||
| 工作原理 | 磁 感 应 | ||||||||
| 测量范围（um） | 0～400 | 0～1250 | 0～5000 | 0～10000 | |||||
| 低限分辨力（um） | 0.1 | 0.1 | 1 | 10 | |||||
| 示值 误差 | 一点校准（um） | ±（3%H+1） | ±（3%H+5） | ±（3%H+10） | |||||
| 二点校准（um） | ±（（1～3）%H+0.7） | ±（（1～3）%H+1） | ±（（1～3）%H+5） | ±（（1～3）%H+10） | |||||
| 测 试 条 件 | zui小曲率半径（mm） | 凸 | 1 | 1.5 | 平直 | 5 | 10 | ||
| zui小面积的直径（mm） | F3 | F7 | F7 | F20 | F40 | ||||
| 基体临界厚度（mm） | 0.2 | 0.5 | 0.5 | 1 | 2 | ||||
| | | | | | | | | | |
| 测头型号 | N400 | N1 | N1/90° | CN02 | N10 | |||||
| 工作原理 | 涡 流 | |||||||||
测量范围（um） | 0～400 | 0～1250 | 10～200 | 0～10000 | ||||||
| 低限分辨力（um） | 0.1 | 0.1 | 1 | 10 | ||||||
| 示 值 误差 | 一点校准（um） | ±（3%H+0.7） | ±（3%H+1.5） | ±（3%H+1） | ±（3%H+25） | |||||
| 二点校准（um） | ±[（1～3%H+0.7） | ±[（1～3）%H+1.5] | ___ | ±（（1～3）%H+25） | ||||||
| 测 试 条 件 | zui小曲率半径（mm） | 凸 | 1.5 | 3 | 平直 | 仅为平直 | 25 | |||
| zui小面积的直径（mm） | F4 | F5 | F5 | F7 | F50 | |||||
| 基体临界厚度（mm） | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 无限制 | 5mm铝箔 | |||||
