序号

部件名称

主要技术参数

数量

单位

1

柱塞计量泵

美国SSI Series I
出口流量0.01-4.99mL/min。

3

台

2

气体质量流量控制器

北京七星D07，流量5L/min。型号D07-11C

3

台

3

单向阀-缓冲罐组

316L不锈钢材质。外径约56mm，高度约170mm

3

套

4

加热炉

双半圆开式炉，炉膛内径20mm，长度为1000mm。设计温度600℃，三温区控温。炉外壳材质为304不锈钢。

2

台

5

反应管

外径20mm内径9mm的316L不锈钢管2根，
长度为800mm。设计温度600℃，设计压力10MPa

2

批

6

冷凝罐-接收罐组

316L不锈钢材质。罐体外径约73mm，
高度约110mm。配循环冷却水接头

2

套

7

阀门、接头、管件

全套阀门、卡套接头采用美国FITOK，316材质。背压阀采用美国Swagelok，316材质。配置乙炔、氢气报警器。

1

批

8

电控箱

控制两路气体质量流量，并控制汽化器、加热炉的温度。采用厦门宇电程序控温仪表。

1

个

9

支架

采用304不锈钢方管和不锈钢拉丝板焊接制作台式支架

1

个

10

报警器

配置氢气、乙炔报警器

1

台