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重视可视性,大画面,触摸屏显示器,可在附带软件上显示测试数据
双通道: 0.1um0.3um
额定流量:2.83umin
通过实现超小型化设计,使粒子计数器嵌入装置设备成为可
0.1 um测量
4.3英寸彩色液晶
标配RS-485,Ethernet,USB
小型化!重量大幅度轻量化
以往的尺寸很难嵌入组装在半导体制造等装置中,
本产品通过压倒性的小型化,使传感器嵌入设备中使用变为简便易行。
应用范围
作为传感器嵌入到设备装置中
洁净室的清洁度管理
高清洁度区域的管理
加野Kanomax 3950 超小型粒子计数器
测试方法 | 光散乱 |
粒径区分 | 2粒径(0.1,0.3um) |
额定流量 | 0.1CFM(2.83L/分)精度士(符合JIS B9921 和 1$021501-4) |
测量时间 | 6秒~99分59秒(1次测量时间) |
间隔时间 | 6秒~99分59秒(测量周期) |
采样次数 | 1~999回或 连续测试 |
地点区分 | 99个地点 |
测量格式 | 重复,单次,连续,计算,1S0,GB*(共6种模式) |
测量数据显示时间 | 1~10秒 |
测量数据显示 | 计数累计值三,超过设定设定值时蜂鸟器报警 |
zui大可测浓度 | 10,000,000个m |
计数效率 | 50土20%(相对于zui小可测粒径附近的标准粒子) 100士108(相对于zui小可测粒径的1.5倍-2倍的PSL粒子) (符合JIS B9921和1S021501-4) |
伪计数 | 1/35min 以下 |
粒径分解能 | 15%以下(相对0.3um的PSL粒子) (符合JIS B9921和 IS021501-4) |
采样源 | 自带泵 |
显示器 | 4.3英寸彩色液品,触摸屏显示器 |
记录媒体 | 本体:USB(Host可对于打印机,USB内存使用,、Device可对于链接PC使用)Ethernet.RS485(9600,19200,38400 baud) 媒体:内存 记录数、格式:zui大10,000个,CSV格式 |
显示语言 | 英语,日语 |
电源 | AC 100~240 V |
使用环境 | 15~35'C,0~85%RH(无冷凝) |
外形尺寸 | W150 X H163 X D228 mm |
重量 | 3.4kg |