产品介绍

NanoCam HD采用相移干涉技术（PSI），精度可达；沿用4D技术公司的相位相关探测器的瞬时相移技术，可在振动环境下测量大口径光学元件表面粗糙度。

NanoCam HD克服了传统粗糙度仪速度慢、使用复杂的缺点，其便携和抗振动的特性使NanoCam 在多种复杂工作场景——生产现场、龙门机器人、抛光设备旁、放置在大口径光学元件表面，都能进行高精度测量；可挂在机械手上对被测元件进行任意方位的测量。

NanoCam HD能克服一般光学轮廓仪受样品反射率的制约，可以对高反或低反样品进行测量。

常规属性

系统描述：对振动不敏感的动态表面轮廓仪

采集模式：采用相位相关探测器的瞬时相移式

核心技术：相移干涉技术（PSI）

光源：460nm LED

相机像素：, 12-bit

外形尺寸：24 cm × 24 cm × 8 cm

重量： kg

系统性能

最小曝光时间：
垂直测量范围：115nm step

RMS重复性：
RMS精度：

配置选项

物镜 ：可选，2X，5X，10X，20X，50X（相见列表）

三脚架：可选操纵杆控制的三脚架，带倾斜/俯仰/垂直调节

校准镜：超光滑参考镜

加长线缆：5m或10m

长工作距离干涉物镜