活性炭吸附设备目前国内有 机废气净化方式颇多，如直接燃烧，催化燃烧，蓄热式燃烧（RTO，RCO）等，但对于低浓度，大风量的废气很难燃烧，在间歇作业中余热不能充分利用。对于低浓度、大风量或间歇作业产生的废气采用活性炭吸附法，相比于其它处理方法具有的优点温等离子废气净化器在废气处理中的使用跟着工业经济的开展，石油、制药，油漆、印刷和涂料等职业发生的挥发性废气也日渐增多，这些废气不只会在大气中逗留较长的时刻，还会扩散和漂移到较远的当地，给环境带来严峻的污染，这些废气吸入人体，直接对人体的健康发生的损害；别的工业烟气的无控制排放使大气环境日益恶化，酸雨(要来源于工业排放的硫氧化物和氮氧化物)的损害引起了各国的重视。由于大气受污染而酸化，导致了生态环境的破坏，重大灾难频繁发生，给人类造成了巨大损失。因此选择一种经济、可行性强的处理方法势在必行。降解挥发性污染物(VOCs)传统的处理方法如吸收、吸附、冷凝和燃烧等，对于低浓度的VOCs很难实现，而光催化降解VOCs又存在催化剂容易失活的问题，利用低温等离子体处理VOCs可以不受上述条件的限制，具有潜在的优势。